文档介绍：学习任务微电子机械系统(MEMS)移动设备内置传感器硬件平台数字化传感器及网络接口技术Clicktoaddtitleinhere123本章主要涉及:(MEMS)微电子机械系统(MicroElectroMechanicalSystem)简称MEMS,是集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理控制电路、接口、电源等于一体的机械装置。它将自然界各种物理量,如声、光、压力、加速度、温度以及生物、化学物质的浓度信息转化为电信号,并将电信号送入微处理器得到指令,指令被随即发送到微执行器上,对自然界的变化做出相应反应。,在日本被称为微机械,在欧洲被称为微系统,它是指可批量制作的,集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。微电子机械系统(MEMS)、处理与发送信息或指令,还能够按照所获取的信息自主地或根据外部指令采取行动。它用微电子技术和微加工技术(包括硅体微加工、硅表面微加工、LIGA和晶片键合等技术)相结合的制造工艺,制造出各种性能优异、价格低廉、微型化的传感器、执行器、驱动器和微系统。、微执行器、信号处理和控制电路、通讯接口和电源等部件组成的一体化的微型器件系统。其目标是把信息的获取、处理和执行集成在一起,组成具有多功能的微型系统,集成于大尺寸系统中,从而大幅度地提高系统的自动化、智能化和可靠性水平。,当时用大型蚀刻硅片结构和背蚀刻膜片制作压力传感器。由于薄硅片振动膜在压力下变形,会影响其表面的压敏电阻曲线,这种变化可以把压力转换成电信号。后来的电路则包括电容感应移动质量加速计,用于触发汽车安全气囊和定位陀螺仪。,主要围绕着PC和信息技术的兴起。TI公司根据静电驱动斜微镜阵列推出了投影仪,而热式喷墨打印头现在仍然大行其道。第三轮商业化可以说出现于世纪之交,微光学器件通过全光开关及相关器件而成为光纤通讯的补充。尽管该市场现在萧条,但微光学器件从长期看来将是MEMS一个增长强劲的领域。,其开始向工业、医疗、测试仪器等新领域扩张。推动第四轮商业化的其它应用包括一些面向射频无源元件、在硅片上制作的音频、生物和神经元探针,以及所谓的'片上实验室'生化药品开发系统和微型药品输送系统的静态和移动器件。,最终发展方向是取代现有大系统的集成微光机电系统(MicroOpticalElectroMechanicalSystem,MOEMS)。MEMS目前主要应用在微机械元器件制造、信息、汽车工业、生物医学工程、航空航天、国防军事等多个领域。(1)微机械元器件制造领域微马达、微镊子、微齿轮、微开关、微电感、微透镜阵列、微射流器件等,它可使现有仪器设备体积更小、重量更轻、能耗更低、可靠性更高。(2)信息领域硬盘、光盘读写头、喷墨打印头,光开关、光衰减器、光滤波器、射频开关、射频移相器、数字微镜器件(digitalmirrordevice,DMD)、蜂窝电话元器件等都已采用MEMS技术制造。