文档介绍：镀膜机操作及镀膜工艺指导书受控状态及编号文件编号GL/WI-RD-03-25页码Page1of30部门技术部发布日期2013年12月9日拟制徐威审核批准变更履历12007-05-28文件整合将老版文件改为新版的格式聂旭光22007-08-15内容新增1、增加产品镀膜前烘烤要求Page15周霞2、增加表单Page20周霞32007-10-09客户审核要求1、增加变更履历Page1杨莎2、去掉产品镀膜前烘烤要求Page15周霞3、5#镀膜机增加光栅增透Page15聂旭光42008-04--09-09内容新增Page12冯浩62009-04-13内容变更更新3#镀膜机作业流程Page9-14何健72009-04-24内容新增新增4#镀膜机作业流程Page19-21何健82009-05-18客户审核要求新增镀膜产品切换要求Page21何健92009-08-05文件整合全部更新全文冯浩102010-01-#5#6#机台清洗周期2变更4#工艺参数冯浩112010-04---7-##镀膜机工艺参数Page18-#镀膜机工艺参数Page25-#镀膜机工艺参数Page30徐威袁超132010-9-13内容新增新增《镀膜工艺卡片》Page18,32叶小兵142010-9-20内容新增新增3#,4#镀膜机烘烤温度点检要求冯浩152011-4-18内容新增新增镀膜工艺卡片三洋BD414蓝光偏小AR、正常AR、偏大AR徐威162011-11-21文件整合全部更新全文靖泽兵172011-12--2-8内容变更表单变更Page28靖泽兵192012-3-12内容变更表单变更Page28靖泽兵202012-5-21内容新增增加测温时机,时机为停机大于等于24小时后测温。-12-26内容变更表单变更Page28靖泽兵222013-1-5内容新增新增阳极筒更换注意事项Page16徐威232013-1-、、15、20、、21徐威242013-12-9应客户要求增加《产品面别一览表》Page29-30杨莎252014-4-23内容变更Sio2加料变更Page4徐威一、目的为了规范镀膜作业员镀膜操作,特制定该文件。二、适用范围本文件适用于参与镀膜操作的全体人员。三、#:昭和真空镀膜机;#:昭和真空镀膜机;#:莱宝真空镀膜机;#:韩一真空镀膜机;#:现代南光ZZS1100真空镀膜机;#:现代南光ZZS1100真空镀膜机;:镀膜材料、吸尘器、铜刷、锤子、镊子、***、口罩、手套。四、#昭和镀膜机作业流程全反、#昭和镀膜机作业流程全反、#莱宝镀膜机作业流程光栅、滤光片、分光、全反、#韩一镀膜机作业流程滤光片、分光、全反、#南光镀膜机作业流程分光、#、、晶控确认添料清扫开机关机下伞进气镀膜排气(抽真空):铜刷和吸尘器2、清扫流程:注意事项:⑴整个清洁过程中操作人员必须戴口罩、手套;⑵遮料板每罩清扫,每3罩反射镜更换1次,并拆网喷砂处理。(3)用铝纸包的护板每5罩反射镜(35罩AR)须更换。昭和莱宝韩一南光添料1、添加SiO2时,先将坩埚周围卫生清洁再将烧结成块的SiO2取出,然后加入新的SiO2膜料。添加时,用添料勺一边添加一边压紧,最终添加到膜料与坩埚上边沿齐平即可。2、添加TiO2时,需将前一次熔出的坑填平。※添加膜料注意相对应坩埚序号,及所需添加的材料名称;※膜料添加完毕后,需将坩埚周边的多余膜料清除干净。膜料的存放要求:1、不使用的已熔膜料需放入干燥塔内保存