文档介绍：? 1994-2010 China Academic Journal Electronic Publishing House. All rights reserved. 厂洁净厂房设计及效果—沈厚正单晶硅厂洁净厂房设计及效果北京有色冶金设计研究总院沈厚正摘要单晶硅及硅片生产对生产环境的洁净度要求高本文评述了利用旧厂房改建。‘配置和空调净化系统设计上采取有效措施使各生产工序达到不同的洁净等级经过实测表明效果显著关键词单晶硅生产洁净度要求生产环境前言发展电子工业所必须的单晶硅及硅片材料的生产我国自年代以来有了迅速发展相继建设了洛阳峨眉等部属硅材料厂北京上海天津等地也兴建了各自的专业半导体硅材料厂年代全国产量达到余为电子工业提供了急需的半导体硅材料产品同时硅材料工厂的设计技术和设计水平也有很大提高年代中期各硅材料厂先后从国外引进部分先进技术设备进行改建扩建以便提高硅工业的装备水平增大硅片尺寸改善产品质量提高经济效益我院通过承担引进项目设计了解掌握了国外硅材料的设计状况与水平积累了经验其中上海厂单晶硅及硅片分厂的改造设计就是一个成功的范例本文仅就该项目洁净厂房设计作一评述工厂概况上海厂原有的单晶硅车间是国内最早研制硅材料的单位之一到年代已形成年产多晶硅单晶硅及少量硅片生产线建成厂房职工人为上海电子工业提供了急需的单晶硅和硅片产品是国内硅材料行业经济效益较好的企业之一随着电子工业和国内大规模集成电路的迅速发展对直径大于中的大硅片需要量增加对硅片的质量要求也越来越严格为了满足电子工业对硅材料产品的需要在上级主管部门审批和支持该厂引进美国年代先进水平的单晶硅拉制和硅片加工设备建设一个专门的单晶硅及硅片分厂使单晶硅的生产能力提高倍中以上的硅片产量达到年产万片可为大规模集成电路提供内在质量稳定的批量产品使硅材料的生产水平大大提高一步众所周知单晶硅和硅片是高技术所需的重要半导什材料其产品的纯度和完整件要求很高制备及加工的工艺过程是不断捉高产品纯度均匀性和完整性的精细加工过程对生产厂房环境有较严格的要求即要求生产厂房达到一定的洁净空调标准建厂当时还没有颁布正式国家标准只有试行的洁净厂房标准见表表空气洁净度等级等级每空气中每空气中。尘粒数印尘粒数每升空气尘粒数每升空气尘粒数级级级级簇镇簇镇设计改造过程洁净标准确定我们过去设计的硅材料工厂包括新建或改建项目对厂房洁净度要求不是很具体很准确的尤其对不同生产工序的洁净度标准不了解过去设计的试验性单晶硅厂房持照整体空调净化系统设计洁净措施不完善? 1994-2010 China Academic Journal Electronic Publishing House. All rights reserved. 色冶炼效果不理想开放改革的形势使设计人员了解到更多的国外设计技术我院在承担上海厂硅单晶引进项目及厂房改造设计时与美国公司合作设计了解了美国公司硅材料工厂空调洁净度的具体要求和设计技术针对上海单晶硅及硅片改造项目美方提出了各生产工序对应的洁净等级见表农单晶硅及硅片生产厂房洁净对扭度拓单品室单品装料室庸蚀室单品侧试宣抛光机立抛光片清洗宣封艘室外延护宜前后士士前后土土无要求士士士外延处理宣包装检侧室软卸片室外贻侧试室切磨片室《士表中外延室后外延测试室包装检测室装卸片室洁净等级要求。级即大于。拌的尘埃每升空气中不能多于