文档介绍：第卷第期同济大学学报自然科学版..
年月,
网技术在半导体生产线建模中的应用
曹政才一,乔非,吴启迪
.北京化工大学信息科学与技术学院,北京;.同济大学研究中心,上海
摘要:综述了廿网在半导体生产线优化调度领域应用的最新研究进展,涉及半导体生产线主要特征、建模方法、
网类型、调度策略及具体应用等问题,并指出这一领域值得进一步研究的问题和可能的发展方向.
关键词:半导体生产线;网;建模;调度
中图分类号: 文献标识码: 文章编号:———
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展起来的第三类生产系统——多重人生产系统,该线建模技术进行研究,详细介绍了半导体生产线的
系统具有可重人性、成批工具群、不确定性、混合加特征、网建模技术及相应优化调度算法.
工、设备负载不均衡等特点,由此造成半导体生
产线存在不确定、大规模、复杂的调度环境,给半导半导体生产线建模方法

统需要借助抽象化模型语言准确描述系统行为特征半导体制造系统由于规模大、设备昂贵、种类
及变化规律,在研究模型的基础上可以对半导体制多、产品繁多、工艺流程复杂等,其调度问题一般需
造过程的特征和行为加以分析和提炼,:
,另一类是基于离散事件
此有效建模工具和建模方法是实现半导体制造过程动态系统的方法.
收稿日期:—一
基金项目:国家自然科学基金资助项目,;中国博士后基金资助项目
作者简介:曹政才一,男,副教授,工学博士,主要研究方向为复杂系统过程建模、优化与调度,机器人技术..:
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同济大学学报自然科学版第卷
基于运筹学的方法多以排队论及数学规划为理等以带禁止弧的时间网为模拟工
论基础,建立的模型主要有网模型、具,提出了一种基于加工路径和制造设备的自动构
,这会造半导体制造过程网模型的方法,并进一步分
引起所建模型与实际对象问存在很大的差别,造成析和预测生产能力、制造周期、设备利用率、在制品
模型不能准确反映研究对象实际的行为特征及变化水平等.
规律. 文献基于马尔可夫时间网对
基于离散事件动态系统的建模方法主要是利用半导体制造系统性能进行分析,利用描述具
网、群体智能及多智能体—等工具, 有过程优先级、加工路径优先级、资源重人及非优先
充分表现半导体制造系统复杂行为特征及状态变化级操作系统,针对半导体制造系统提出了一种具有
关系. 共享资源优先级过程的评价方法,根据工艺规程通
由于网在处理动态离散事件和复杂系统过赋予共享资源不同的优先级来避免冲突.
的特性时具有图形表示和数学描述的双重功能,因郝东等采用增强确定时间网对复杂制
此成为研究半导体芯片制造的强有力工具,可用于造系统进行建模,然后应用遗传算法对该模型进行
系统建模、离散事件仿真、性能分析以及调度,尤其调度并获