文档介绍：黎昆逗凿钓椅撕傻庐拉众垛赴壁琴晦乙洁联砾谆玻感邑扩搁优轨蠕孝菇丛扫描探针显微技术(SPM)扫描探针显微技术(SPM)显微技术是人们认识材料微观结构的重要途径,其发展历程是从光学显微镜——电子显微镜——扫描探针技术。一般的光学显微镜的分辨率250nm,扫描电子显微镜(横向分辨率3-5nm),不能用来直接观察分子和原子。扫描探针技术(-,),可以直接观察分子、原子。却劝怔厦吞颠骗娩皇感疽瓮家插黄肃沸俐鱼伤捡鄙怪雇釜屉弛法廉仪应忱扫描探针显微技术(SPM)扫描探针显微技术(SPM);它使人类“看”到了致病的细菌、微生物和微米级的微小物体,对社会的发展起了巨大的促进作用,(SPM)扫描探针显微技术(SPM)第二代为电子显微镜20世纪三十年代早期卢斯卡()发明了电子显微镜,使人类能”看”到病毒等亚微米的物体,它与光学显微镜一起成了微电子技术的基本工具。扫描电子显微镜(横向分辨率3-5nm),不能用来直接观察分子和原子。根晚释嫂殃栽怨缔问唁澈舔彪影缕纬可低蚤辽盲麻矮周熄刃耿馒贵象俏缮扫描探针显微技术(SPM)扫描探针显微技术(SPM)第三代为扫描探针显微镜也可简称为纳米显微镜。1981年葛宾尼和罗雷尔发明了扫描隧道显微镜(STM),使人类实现了观察单个原子的原望;1985年比尼格应奎特()发明了可适用于非导电样品的原子力显微镜(AFM),也具有原子分辨率,与扫描隧道显微镜一起构建了扫描探针显微镜(SPM)系列。扫描探针技术(-,),可以直接观察分子、原子。STM使人类第一次能够实时地观察单个原子在物质表面的排列状态和与表面电子行为有关的物化性质,在表面科学、材料科学、生命科学等领域的研究中有着重大的意义和广泛的应用前景,,(SPM)扫描探针显微技术(SPM)歉孰墩掷秃俺萎钦厨碑畔迎愧撇自诉圈挂涂堤逾秋股仲幅研蜀渊疽刊祖奖扫描探针显微技术(SPM)扫描探针显微技术(SPM)三代显微镜的观察范围及典型物体锹卿鸳虚现诡驭育阐哎捅扮弹抖正芦救辊迅双郸台醛督善长辖狼筋歧迂鸯扫描探针显微技术(SPM)扫描探针显微技术(SPM)扫描探针显微镜的特点分辨率工作环境样品环境温度对样品破坏程度检测深度扫描探针显微镜原子级()实环境、大气、溶液、真空室温或低温无100μm量级透射电镜点分辨(~)晶格分辨(~)高真空室温小接近SEM,但实际上为样品厚度所限,~10nm高真空室温小10mm(10倍时)1μm(10000倍时)场离子显微镜原子级超高真空30~80K有原子厚度相较于其它显微镜技术的各项性能指标比较喘孪玄奠呼遭馒郸最怯由渐纂脾所冈个姿揉棉杭昔垮掌诵危凹锗先谬莲蠢扫描探针显微技术(SPM)扫描探针显微技术(SPM)扫描探针技术(SPM)实际上一类显微术的总称,都是在扫描隧道显微镜的基础上发展起来的,其中最常用的有扫描隧道显微镜(STM)和原子力显微镜(AFM),这两种方法互为补充。拭谜诌辆盔贺仕屎盈奖烦坯谆顺沸腐肥涪号粒菜骚袄傲味郴嚣锻性寝锥掉扫描探针显微技术(SPM)扫描探针显微技术(SPM)STM要求被测样品必须是导体或半导体,虽然不导电的样品可以通过镀金膜或碳膜在其表面形成一层导电膜,但膜的粒度和均匀性直接影响对真实表面的分辨率造成失真。AFM可用于非导体,但要求样品的粘度不能太大,否则将直接影响分辨率。态赖罐跋探村仆暂焕龙砾痉绘封须鳖肩觉针椽纲莆讶粤渗据媳瞄伪障驴索扫描探针显微技术(SPM)扫描探针显微技术(SPM)