文档介绍：2016-11-25分析测试中心扫描探针扫描探针(spm)(spm)显微镜显微镜胡海龙胡海龙2016-11-25分析测试中心显微镜介绍显微镜介绍扫描探针显微镜(spm):利用末端半径为纳米级的微小探针,利用探针与样品表面之间的相互作用,以扫描的方式对样品表面的三维形貌进行分析的一类显微镜。与样品表面超近距离相互作用,触摸成像,,。扫描探针对于样品要求: ,无污染 -11-25分析测试中心扫描探针显微镜SPM (scanning Probe Microscopy)扫描隧道显微镜STMScanning Tunneling Microscopy)动态力显微镜DFMDynamic Force Microscopy原子力显微镜AFMAtomic Force Microscopy)2016-11-25分析测试中心扫描隧道显微镜扫描隧道显微镜((STMSTM))工作原理:保持隧道电流的值恒定。2016-11-25分析测试中心扫描隧道显微镜扫描隧道显微镜((STMSTM))特点特点优点:优点: 2. 。布信息。缺点:缺点:只能在导电物体表面上测量只能在导电物体表面上测量2016-11-25分析测试中心原子力显微镜(AFM)(Atomic Forces microscopy)2016-11-25分析测试中心IIIIIIIV针尖z方向的形变量可用上下象限的光强差精确得到光斑位移量s可通过????IVIIIIVIIIIIIIIIII??????????得到,并且可通过光杠杆原理得到针尖的形变量?ds四象限探测器探测针尖形变的原理2016-11-25分析测试中心针尖与样品表面一直接触,通过针尖的形变量,针尖与样品之间的距离大小。针尖在扫描过程中会拖拽样品,产生额外的横向力(摩擦力)容易将弱吸附在表面的样品扫走原子力显微镜AFM成像的机制2016-11-25分析测试中心原子力显微镜(原子力显微镜(AFMAFM))特点特点优点:优点:、、绝缘体的表面形貌绝缘体的表面形貌 2. 3. ,研究得力学曲线,研究样品表面的力学样品表面的力学特性特性 4. ,研究利用针尖与样品的横向形变大小,研究样品表面的摩擦特性样品表面的摩擦特性缺点:缺点: 2. 。。2016-11-25分析测试中心动态力显微镜动态力显微镜((DFM)DFM)自由振荡振幅衰减工作原理:保持针尖悬臂的振幅衰减量不变