文档介绍：学生毕业设计(论文) 题目: 直拉单晶硅的制备学院: 新能源学院专业: 光伏材料加工及应用技术班级: 09 级光伏( 2 )班姓名: 郭贵新学号: 1095240211 指导教师: 崔丽完成日期: 201 1年9月 20日目录摘要................................................................................................................................ 1 1、引言.......................................................................................................................... 1 2、直拉单晶炉.............................................................................................................. 1 机械部分......................................................................................................... 2 炉体....................................................................................................... 2 真空系统............................................................................................... 2 氩气系统............................................................................................... 2 水冷系统............................................................................................... 2 热系统.................................................................................................. 2 电气系统......................................................................................................... 2 3、直拉单晶硅原、辅材料.......................................................................................... 3 4、直拉单晶硅工艺流程.............................................................................................. 4 拆炉及装料..................................................................................................... 4 内件取出......................................................................................................... 4 充气....................................................................................................... 5 取出晶体............................................................................................... 5 取出热屏...................................................