文档介绍：扫描电子显微镜试行检定规程
(JJG 550-88)
评述
周剑雄陈振宇
(中国地质科学院矿产资源研究所北京 100037)
E-mail:******@.cn
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《扫描电子显微镜试行检定规程》(JJG550-88)(以下简称《规程》)是由上海市计量
测试技术研究院张训彪最早提出并起草的,发布于 1988 年。由于技术的飞速发展,《规程》
中有些规定已不太适合目前的实际情况,但其基本精神仍可适用。《规程》简明扼要,检
验项目明确合理,是扫描电镜检定实验室的重要标准。但遗憾的是这一试行《规程》竟然
使用了近 20 年而未能修改并予于正式执行,因此在使用时应予以必要的注意。建议可结
合参考《JJG(教委)010-1996 分析型扫描电子显微镜检定规程》部门标准中的有关内容,作
一些相应的修改,以使更符合实际情况。如《规程》中规定的“放大倍数的示值误差不大
于±10%”,“放大倍数的重复性不大于 5%”等规定显然太宽松了。
这里特别指出的是:在该《规程》中,制订者已明确提出了对扫描电镜的几个关键性
能指标进行检验的具体内容:
(1) 必须进行扫描电镜分辨力的检验,以保证扫描电镜的图像观察达到最佳状态,这
是一个最基本的必须得检验,很难想象一个分辨力状态很差的扫描电镜能够提供合格的结
果。
(2) 必须认真进行放大倍率的校验,并强调检验应使用长度标准样品,以保证扫描电
镜提供的放大倍数的正确性,并使扫描电镜测长成为可能。《规程》中专门编写了一个关
于长度标准样品的附录,提出比对性标准样品的设想,已清楚地说明了对标准样品(尺)
的重视。
(3) 必须对扫描电镜进行图像畸变(图像失真)的调整。
应该说,这个《规程》的制订具有重大的意义。遗憾的是,由于标准的贯彻力度不够,
在实验室论证过程中,往往受到严重的忽视,绝大多数正在使用中的扫描电镜没有按《规
程》进行检验。以至发生许多实验室竟然不知道这个标准的存在。当然,国内缺乏必要的
分辨力标样和长度标准样品,也在客观上影响到上述《规程》的贯彻执行。因此,加速研
制有关长度标样和分辨力标样是贯彻执行本规程的关键。当然也期待着本试行检定规程能
及早转正或重新制订。该标准的内容要点如下表所示:
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表 1 内容提要
编号 JJG 550—1988
(中文)扫描电子显微镜试行检定规程
名称
(英文)Verification Regulation of Scanning Electron Microscope
归口单位上海市标准计量管理局
起草单位上海市测量技术研究所
主要起草人张训彪(上海市测量技术研究所)
批准日期 1988 年 3 月 22 日
实施日期 1989 年 2 月 1 日
替代规程号
适用范围本规程适用于新制造、使用中和修理后的扫描电子显微镜的检定
±10%
5%
主要技术要求
射线泄漏剂量当量不大于
是否分级否