文档介绍：分析系统优化小电流测量和时间图,验证系统其余部分的偏移(利用图3中所示的“AppendRun”按钮)。最后,在“up”位置对探针末端或未连接器件的测试夹具进行测量。该过程将有助于确定任何故障点,例如短路的电缆或测量电路中的不稳定性。然而,要意识到,连接和断开电缆都会在电路中产生电流。为了进行超低电流测量,可能有必要在改变测试电路的连接后等待几分钟至几个小时,使杂散电流衰减。图4中的图形显示的是以下条件下的偏移:1)SMU的ForceHI端子上戴有金属帽;2)前置放大器上仅连接一根三轴电缆;3)通过吉时利7174A型小电流开关矩阵至探针台,“up”位置有一个探针。■时间图形时施加一个测试电压,重复该项测试,确定测量电路中的漏泄电流。在DUT的实际测量中,使用的是测试电压,而非零偏压。现在,将测量并绘制测试夹具和电缆中的任何漏流。如果漏流太高,可对测量电路进行调节,减小漏流。关于减小漏流的方法信息,请参见本文“漏流和保护”部分。IV测量误差源及减小误差的方法确定了电流偏移、漏流及所有不稳定性后,采取措施减小测量误差将有助于提高测量准确度。这些误差源包括建立时间不足、静电干扰、漏泄电流、摩擦效应、压电效应、污染、湿度、接地环路,以及源阻抗。图5中汇总了本节讨论的部分电流的幅值。。建立时间是指施加或改变电流或电压后测量达到稳定的时间。影响测量电路建立时间的因素包括并联电容(CSHUNT)和源电阻(RS)O并联电容是由于连接电缆、测试夹具、开关和探针造成的。DUT的源电阻越高,建立时间越长。图6的测量电路中标出了并联电容和源电阻。τ的结果,其中:τ=RSCSHUNT以下为计算建立时间的一个例子,假设CSHUNT=10pF,RS=lTΩ,那么:τ=lOpF×lTΩ=10s因此,读数稳定至最终值的1%所需的建立时间为τ的5倍,也就是50秒。图7所示为RC电路的阶跃电压指数响应。经过一个时间常数(τ=RC)后,电压上升至最终值的63%,重要的是每次测量留有足够的时间,尤其是扫描电压时。对于扫描模式,可在“SweepDelay”(扫描延迟)域的“Timing”(定口寸)菜单中添加建立时间;对于采样模式,则在“lntervaltime”域内。为了确定需要增加多长间隔时间,通过绘制电流■时间图,测量DUT稳定至某个阶跃电压的建立时间。阶跃电压应该是DUT实际测量中使用的偏执电压。可利用LowCurrent项目中的ITM测量建立时间。应适当增加“Timing&rd