文档介绍：学位论文作者签名:趔名咱日期:挑年;月浙江理工大学学位论文原创性声明本人郑重声明:我恪守学术道德,崇尚严谨学风。所呈交的学位论文,是本人在导师的指导下,独立进行研究工作所取得的成果。除文中已明确注明和引用的内容外,本论文不包含任何其他个人或集体已经发表或撰写过的作品及成果的内容。论文为本人亲自撰写,我对所写的内容负责,并完全意识到本声明的法律结果由本人承担。’
不保密海日期:细月学位论文作者签名:趔‘娲日期:伽肛年乡月琴日。浙江理工大学学位论文版权使用授权书学位论文作者完全了解学校有关保留、使用学位论文的规定,同意学校保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版,允许论文被查阅或借阅。本人授权浙江理工大学可以将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索,可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存和汇编本学位论文。本学位论文属于保密口,在年解密后使用本版权书。指导教师签名:
畇/..ú惚∧ぃ⑼üЦ摘要超导材料由于其具有电阻为零的优点在能源紧张的今天受到越来越多人的关注,微型化器件的出现促使了薄膜材料的研究,能够将超导薄膜应用到更多的微电子器件这一目标吸引了越来越多的科研工作者对超导薄膜的研究。本文采用脉冲激光沉积技术票噶瞬煌煞值腖,.∧ず薄膜以及这两种成分的双层薄膜结构。采用湎哐苌、扫描电子显微镜暗臀碌缪阅懿饬肯低车确治鍪侄窝芯苛吮∧さ木褰峁埂⒈砻嫘蚊病⒈膜的电学输运特性。主要研究结果如下:捎么车墓滔嗌战岱ǎü剿魃战崽跫票赋隽舜肯嗟腖..和粉末样品,利用这些粉末制备出了薄膜沉积所需要的陶瓷靶材;ü员∧こ粱ひ仗跫奶剿鳎玫搅酥票父咧柿縇急∧さ淖罴烟跫其工艺参数为:氧气压,,脉冲激光能量贸粱齃∧さ淖罴压ひ詹问票噶艘幌盗芯哂胁煌穸鹊谋∧ぃ芯苛薄膜厚度对超导转变温度的影响,通过研究发现,随着薄膜厚度的增加,薄膜的超导转变温度鸾ド撸酱镆欢ê穸群蟪甲1湮露壬升趋势趋于平缓。贜粼覵:,牡咨铣粱司哂胁煌煞值腖∧ぃ得到了畇/和甀熘式峁,研究了这两种结构的电学性质,结果表明,这两种结构都表现出了整流特性。通过分析得到了扩散势的变化规律,并发现在超导态扩散势的变化是由于超导能隙打开所致。的方法制备了双层薄膜的台阶结构,在低温电学测量系统上研究了电场对双层薄膜电学性能的影响,通过不同测试方法表征,表明电场具有调控双层薄膜载流子扩散方向的能力,进而改变了超导薄膜的转变温度,并且在一定的电场作用下使薄膜在超导和非超导之间转换。这种结构的电阻与外加电场的方向有很大关系,表现出了很好的整流特性。关键词:超导薄膜;畇薄膜;薄膜;载流子浓度;整流特性;
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录目摘要第一章绪论第二章薄膜的粱际鹾捅碚鞣椒ā!第三章靶材的制各及薄膜沉积工艺研究⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.臀鲁疾牧系姆⑾⑾帧高温超导薄膜及其制备技术简介⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯蚪榧氨∧さ难芯肯肿础薄膜的研究现状⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯高温超导异质薄膜的研究⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯研究的内容和意义⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.参考文献⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.薄膜的沉积原理⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯脉冲激光沉积技术介绍⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.∧⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯薄膜的表征⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.褰峁贡碚鳌.∧⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯靶材的制备⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..前言⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯椒ㄖ票窵∧.∧ず穸鹊挠跋臁,⒔帷弓浴:甆结的制备和研究⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯