文档介绍：宁夏大学
硕士学位论文
ITO透明导电薄膜的制备及其光电理论研究
姓名:成立顺
申请学位级别:硕士
专业:凝聚态物理
指导教师:钟景明;何力军
20090501
摘要℃下制备的薄膜,其宓木婕渚嗯.,经计算,其晶格常数为在该条件罚票傅谋∧ず穸任、:∧ぃ瑂,方阻,透光率,∧ぁQ芯抗ぷ魑艻溶胶制各、薄膜成形及退火、薄膜结构与成分分析,以及薄膜光电性能表征等四个方面开展。∧品体的微观结构,用扫描电镜捌涓酱哪芷滓分析薄膜断口和表面的形貌及薄膜微区的化学成分,另外分别用四探针仪、紫外可见分光光度计对∧さ牡嫉缧院屯腹庑进行表征。本文同时探讨了∧す獾缧阅艿南喙乩砺郏↖薄膜的晶体结构、能带结构、导电机理及薄膜与电磁波相互作用的理论。研究表明:凝胶是非晶物质,该鞯嫉绫∧な荌相、由~目帕W槌傻奶心立方晶体。在嫦峦嘶穑琁薄膜的衍射峰不突出。在嫦峦嘶鹬票傅谋∧ぃ丫有显著的铟锡氧化物衍射峰,但衍射峰较弱。妗℃和媸钡难苌浞澹湮恢煤颓慷与标准立方晶系的衍射图谱相一致,作为掺杂剂已取代部分进入的品格中。隝的晶格常数相近。薄膜的光电性能受到溶胶性质、薄膜成形和薄膜退火中的各个阂詹问挠跋臁M明导电综合性能最佳的∧ぶ聘鞑问#阂訧为铟盐、乙二醇甲醚为溶剂、乙醇胺为添加剂/摩尔比为2粼泳G襕痆ィ票概ǘ任./的溶胶;提拉速度为谄胀úA先卫ぃ℃干燥℃∧す獾缧阅芎凸ひ仗跫臼迪衷て谀勘辍
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形护≯硪参成≥、欠独创性声明关于论文使用授权的说明时间:劢。夕年石月/日劢。晁暝碌笸年/月表或撰写过的研究成果,也不包含为获得宁夏大学或其他教育机构的学位或证书而使C艿难宦畚脑诮饷芎笥ψ袷卮诵本人声明所呈交的论文是我个人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。尽我所知,除了文中特别加以标注和致谢的地方外,论文中不包含其他人已经发用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示了谢意。研究生签名:时间:本人完全了解宁夏大学有关保留、使用学位论文的规定,即:学校有权保留送交论文的复印件和磁盘,允许论文被查阅和借阅,可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编学位论文。同意宁夏大学可以用不同方式在不同媒体上发表、传播学位论文的全部或部分内容。导师签名:
第一章引言透明导电薄膜的发展历程∧さ幕拘灾∧さ挠猛偷缱忧ㄒ坡稴当固体或液体的一维线性尺度远远小于它的其它二维尺度时,这样的固体或液体被称为膜。通常,膜可以分为两类,一类是厚度大于哪ぃ莆:衲ぃ硪焕嘣蚴呛穸刃∮趌哪ぃ称为薄膜。因此,薄膜材料是相对块体材料而言的,是指在块体材料的表面制备的~层与块体材料性质完全不同的物质层。透明导电薄膜具有透明和导电双重性质,是一种重要的功能薄膜,其种类主要有:金属膜、氧化物虺芓ぁ⒍嗖愀春夏ず透叻肿膜等,其中∧ふ贾鞯嫉匚弧主要包括虲难趸锛捌涓春隙嘣Q趸锉膜材料瑚。年紫缺ǖ剂薈ぴ诨怨夥诺缡页粱趸蟮耐该鞯嫉缦窒骩,将物质的透明性和导电性这一矛盾统一起来。在随后的几十年中,人们发现和研究了多种材料的膜,并不断扩大它们的用途。国内透明导电薄膜的研究工作开始于世纪年代末期,目前研究人员主要集中于对基、约癦基透明导电膜的研究,而掺锡简称薄膜又是当前研究和应用最广泛的透明导电薄膜。由于∧ぶ蠭的价格昂贵,而且铟具有毒性,在制备和应用过程中对人体有害;另外和脑恿拷洗螅赡す讨腥菀咨氲匠牡啄诓浚毒化衬底材料,尤其在液晶显示器中污染严重。世纪年代兴起的掺铝氧化锌:,简称透明导电薄膜,具有可与’∧は啾饶獾墓獾缣匦裕谇獾壤胱犹逯械奈榷ㄐ砸S庞贗薄膜,而且价格低廉,来源丰富,安全无毒。因此,∧つ壳耙渤晌M该鞯嫉缪趸锉∧领域的研究热点。、高简并、具有体心立方铁锰矿结构的桶氲继灞∧ぃ虺艻薄膜,属⊥裂趸锝峁埂】。膜具有以下特性嫉缧阅芎电阻率可低达、较宽的带隙.⒔细叩脑亓髯优ǘ诳杉獠ǘ瓮腹矢撸纱ヒ陨希宰贤庀叩奈章式细撸纱ヒ陨希院焱庀呔哂蟹瓷湫裕瓷渎矢哂ィ晕⒉ň哂兴ゼ跣裕ゼ趼士纱ヒ陨希げ阌捕雀撸湍ィ突Ц氢氟酸等除外げ憔哂泻芎玫乃峥獭⒐饪绦阅埽阌谙肝⒓庸ぃ梢员豢淌闯刹煌牡缂及浮;宁夏人学硕学位沦文第一亨引专:
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