文档介绍：单位代码 10445
学号 2009020961
分类号 TN304
硕士学位论文
论文题目:CVD 法硝酸铝催化硅基纳米 ZnO 的制备及特性
的研究
学科专业名称微电子学与固体电子学
申请人姓名徐鹏
导师姓名庄惠照副教授
论文提交时间 2012 年 4 月 8 日
独创声明
本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。据我所知,
除了文中特别加以标注和致谢的地方外,论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果,也不包含
为获得(注:如没有其他需要特别声明的,本栏可空)或其他教育机构的学位或证书
使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示谢
意。
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签字日期: 年月日签字日期: 年月日
山东师范大学硕士论文
目录
摘要..................................................................................................................................Ⅰ
Abstract ...........................................................................................................................Ⅲ
第一章绪论…………………………………………………………………………………1
纳米材料的概述………………………………………………………………………………1
纳米材料的四大基本物理效应………………………………………………………………2
ZnO纳米材料的基本性质……………………………………………………………………3
ZnO 纳米材料的研究进展…………………………………………………………………...7
硝酸铝和氧化铝的性质及应用……………………………………………………………...8
ZnO 纳米材料的制备方法………………………………………………………………….. 9
ZnO材料的应用………………………………………………………………………………11
论文的选题依据和研究内容……………………………………………………………….. 13
第二章实验设备和测试表征方法的介绍………………………………………………...15
实验设备的介绍……………………………………………………………………………...15
实验材料和试剂……………………………………………………………………………. .15
衬底的处理过程…………………………………………………………………………….. 16
样品的测试与表征手段…………………………………………………………………….. 16
第三章在涂有 Al(NO3)3 的 Si 衬底上碳热还原法制备双滴管状 ZnO 纳米结构
其表征………………………………………………………………………………….19
长尾双滴管状 ZnO 纳米结构的制备………………………………………………………..19
长尾双滴管状 ZnO 纳米结构的测试与表征………………………………………………..20
短尾双滴管状 ZnO 结构的制备........................................................................................ ......23
短尾双滴管 ZnO 结构的测试与表征…………………………………………………...23
双滴管状 ZnO 结构的生长机制的