文档介绍：南开大学
硕士学位论文
ITO薄膜及其在柔性硅基薄膜太阳电池中的应用研究
姓名:曹丽冉
申请学位级别:硕士
专业:微电子学与固体电子学
指导教师:薛俊明;陈新亮
20090601
摘要围内的高透过率及易于低温制备的特性,广泛应用于有机发光器件、平板显示器及光伏器件等领域。在本论文中,为了将其应用于不锈钢及芰狭街秩构及光电特性,并着重探讨了∧さ牡臀律せ怼Q芯拷峁砻鳎旱臀高温限制了∧ぴ谌嵝蕴舻绯刂械挠τ茫虼宋颐峭ü徊降髡从室中的氧分压,使得低温沉积的∧さ男阅艿靡杂呕W钪眨赥妫底温度、氧分压对∧ば阅艿挠跋臁O喽杂诘缱璺从θ日舴⒓际酰缱邮的∧ぴ谕嘶鸸讨芯私峁钩谠ィШ诵纬珊途Я3ご笕龉獭T电阻反应热蒸发相对于溅射技术具有较小的粒子轰击能量,因此,在将其在不锈钢衬底太阳电池前电极的研究方面,通过改变乙硼烷的掺杂浓度获率且电学特性良好的闶沟胮/缑娴慕哟ヌ匦缘玫接呕5盤层的掺杂痗耸眕/:∧び捎谕苯岷狭烁叩绲悸剩杉夥性衬底硅基薄膜太阳电池中,主要采用反应热蒸发的方法,在低温条件下制备了高质量的∧ぃ咛宓难芯磕谌莘治R韵录父龇矫妫采用电阻反应热蒸发技术,通过调节衬底温度和氧分压改善∧さ慕沉积容易导致薄膜的非晶化,薄膜的性能随着衬底温度的升高而得到改善,但奶跫拢谄胀úAС牡咨匣竦昧丝杉馄骄腹试嘉ィ电阻率为腎薄膜。作为对比,采用电子束反应热蒸发的方法制备了∧ぃ治隽顺蒸发制备的∧の椿竦酶玫墓獾缣匦裕枰A硗獾耐嘶鸸ひ铡7蔷Ы峁空气中退火嘶鹞露任℃时,∧さ墓庋Т段.,可见光范围内的透过率为%,∧ぬ舻池时,减小了前电极制备过程中对已沉积的慵八芰铣牡妆砻嫣匦缘乃鹕耍从而有利于优化电池的性能。得了不同晶化率的筒牧希晗阜治隽薖型材料对∧ぜ皃/缑嫣性的影响,结果表明,晶化的阌欣贗薄膜的结晶生长,具有合适晶化浓度为ナ保浒档绲悸饰.
对于芰铣牡滋舻绯兀攵訮塑料耐温性差的特点,详细分析了衬底温度对牡咨铣粱齀薄膜性能的影响,研究发现:适当地提高衬底温度有利于改善∧さ慕峋阅埽ü叩奈露然嵩斐蒔塑料本身性能的恶化,从而影响∧さ某粱碳肮獾缣匦浴W钪眨背牡孜露任℃时,。,,获得开路电压为,。芰虾虸薄膜的整体透过率大于%,薄膜的电阻率为效率达到%的柔性非晶硅太阳电池。关键词:∧/缱邮舴⑷嵝猿牡滋舻绯摘要
琣,%,.甀%,.瑆瑃妫琧,琭,琣,..琁,,猳,琒.。琲。.’瓵,瓵。珥,
%痗甀℃,%ぁ產.,.,—..猧——.琱,瑆琒瓵,鞶,:
南开大学学位论文使用授权书南开大学研究生学位论文作者信息本人完全了解南开大学有关研究生学位论文收藏和利用的管理规定。南开大学拥有在括纸质印刷本及电子版?梢圆捎糜坝⑺跤』蚱渌粗剖侄伪4嫜芯可宦畚模并编入《南开大学博硕士学位论文全文数据库》;=萄Ш涂蒲心康模?梢越üǹ术期刊馀电子出版社提交规定范围的学位论文及其电子版并收入相应学位论文数据库,本人承诺:本人的学位论文是在南开大学学习期间创作完成的作品,并已通过论文答辩;年月日根据《南开大学关于研究生学位论文收藏和利用管理办法》,我校的博士、硕士学位获得者均须向南开大学提交本人的学位论文纸质本及相应电子版。《著作权法》规定范围内的学位论文使用权,即:换竦谜弑匦氚垂娑ㄌ峤谎宦畚包的学位论文作为资料在图书馆等场所提供校内师生阅读,在校园网上提供论文目录检索、文摘以及论文全文浏览、下载等免费信息服务;萁逃坑泄毓娑ǎ峡4笱蚪逃指定单位提交公开的学位论文;宦畚淖髡呤谌ㄑO蛑泄萍夹畔⒀芯克椭泄通过其相关网站对外进行信息服务。同时本人保留在其他媒体发表论文的权利。非公开学位论文,保密期限内不向外提交和提供服务,解密后提交和服务同公开论文。论文电子版提交至校图书馆网站:://..,如因不同造成不良后果由本人自负。本人同意遵守上述规定。本授权书签署一式两份,由研究生院和图书馆留存。作者暨授权人签字:论文题目姓名学号答辩日期年·月论文类别博士口学历硕士口硕士专业学位口高校教师口同等学力硕士口院/系/所专业联系电话通信地址时:备注:是否批准为非公开论文注:本授权书适用我校授予的所有博士、硕士的学位论文。由作者填写皇搅椒签字后交校图书馆,非公开学位论文须附《南开大学研究生申请非公开学位论文审批表》。
南开大学学位论文原创性声明本人郑重声明:所呈交的学位论文,是本人在导师指导下,进行研究工作所取得的成果。除文中已经注明引用的内容外狙宦畚的研究成果不包含任何他人创作的、已公开发表或者没有公开发表的作品的内容。对本论文所涉及的研究工作做出贡献的其他个人和集体,均