文档介绍：兰州大学
硕士学位论文
FeCoAlN薄膜的软磁性、动态磁性及热稳定性的研究
姓名:周俊
申请学位级别:硕士
专业:材料科学与工程、材料物理与化学
指导教师:李建功
20090601
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摘要薄膜在不同的最优退火温度‰,以上热处理性向硬磁和各向同性转变,动态磁性也相应变差,而最优退火温度%,随着随着电子信息技术的发展,磁感应元件越来越向微型化、集成化、高频化方向发展,而电磁干扰和电磁污染的逐步增加,也使我们对吸波材料提出了更高的要求。因此,具有高饱和磁化强度和良好高频动态特性的软磁性薄合金因为具有最高的饱和磁化强度而备受关注,但是合金因具有较大的磁晶各向异性和磁滞伸缩系数而难以实现软磁性能。最近的研究表明、∧ぞ哂辛己玫娜泶判阅埽淙任定性能很差,当退火温度高于保淙泶判阅芑鞠АT贔体系中掺入适当的元素有利于改善其热稳定性,因此本文工作用磁控溅射方静态磁性,动态磁性以及热稳定性进行研究。研究结果表明∧可以实现良好的软磁性和高频特性,并且.∧さ娜任榷ㄐ运着舢含量的提高而得到显著改善。主要结果如下:良好的高频特征,自然共振频率大于,磁导率实部在衰落前大于为サ“.薄膜,当触含量小于%时,在溅射态表现出良好的软磁性和单轴各向异性,动态磁性表现为良好的一致共振模式,共振频率大于,随着灿含量进一步的增加,由于薄膜中应力的增加,矫顽力增大,单轴各向异性不明显,动态表现变差。∧さ拇判匀任榷ㄐ运孀耪韬康奶岣呙飨愿纳疲煌ê康砧含量的增加而提高。不含砧的畇.∧ぴ。却硎比匀槐各向异性消失,磁导率很低,没有共振现象出现。含~∧ぴ热处理后仍然保持良好的软磁性、单轴各向异性和一致共振的动态特性,自膜越来越受到重视,对高频软磁性薄膜的深入研究对于满足这些需求具有重要的意义。法制备了一系列:∧∧ぃ贜量比僻%时表现为良好的软磁性和面内单轴各向异性,磁导率谱表现出螅扇泶判院偷ブ岣飨蛞持较好的软磁性和动态特征,但在热处理后,矫顽力急剧增加,难轴兰州人学硕:貉宦畚
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.,这可能是由于随着膜厚的增加,内应力逐渐减小,所以然共振频率,磁导率实部在衰落之前大于几乎没有变化,这说明饱和磁化强度与膜厚和结构无关。而矫顽力随着膜厚矫顽力也随之减小。关键词:∧ぃ蝗泶判裕欢判裕蝗任榷ㄐ浴兰州大学硕士学位论文Ⅱ
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论文作者签名:赴日期:上竺咝—原创性声明本人郑重声明:本人所呈交的学位论文,是在导师的指导下独立进行研究所取得的成果。学位论文中凡引用他人已经发表或未发表的成果、数据、观点等,均已明确注明出处。除文中已经注明引用的内容外,不包含任何其他个人或集体己经发表或撰写过的科研成果。对本文的研究成果做出重要贡献的个人和集体,均已在文中以明确方式标明。本声明的法律责任由本人承担。
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第一章绪论纳米磁性材料概述早在公元前几百年人类就观察到了磁现象。我国春秋战国时代的《管子》和《山海经》书中有关于慈石攀的记载。磁石指的是天然磁铁矿,其主要化学成分是且恢至短闹匾T稀U蛭4攀芪谒缘奶鳎像慈爱的母亲吸引自己的子女一样,故称其为慈石攀。英文中磁体“”一词源于古希腊马其顿塞萨利亚地区的一个地名“”,此地出产天然磁铁矿。早期人类对磁性的认识和对磁性材料的利用主要就集中在磁石吸铁以及制作司南上,⑾至说缌鞯拇判应,开始启发人们去研究电、磁二者的联系,并推动了电磁学和磁性材料的迅速发展。这里所说的磁性材料,精确来说,是指具有铁磁性的材料。近代磁性材料的发展极为迅速。以电磁铁的发明为开端,伴随着煤炭、钢铁工业的发展,发电机、马达、变压器等逐步达到实用化。在此之后,磁性材料主要在磁芯材料和永磁材料两个应用领域发展。年以后,磁性材料用到了录音、录像、硬盘等磁记录系统中。年以后,随着计算机及信息科学的发展,与电子器件、光电子器件相组合而产生的微电子磁性元器件,可以实现小尺寸、高性能,从而大大