文档介绍：学位论文作者签名:≥冬独创性声明矽月本人郑重声明:所呈交的学位论文,是本人在导师的指导下,独立进行研究工作所取得的成果。除文中已注明引用的内容以外,本论文不包含任何其他个人或集体已经发表或撰写过的作品成果,也不包含为获得江苏大学或其他教育机构的学位或证书而使用过的材料。对本文的研究做出重要贡献的个人和集体,均已在文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。
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。笄硕士学位论文复合薄膜的制磁控溅射法∧ぜ癦备研究型兰召昼红红工红燕王委亟±挞料堂::论文答辩日期羔闱目江菱太堂生鱼县月指导教币作者姓名申请学位级别学科ㄒ学位授予单位和日期答辩委员会主席评阅人分类号鱼:
摘要由于传统粉末光催化剂在使用过程中存在产生二次污染、分离与回收困难等问题,因而薄膜光催化剂逐渐成为一个新的研究热点。玻璃由于价格便宜而且非常普通,在其表面涂上高光催化活性的薄膜将会使其在自洁净玻璃等环保领域具有广阔的使用前景。本文以高纯金属锌、金属钛为靶材,氧气为反应气体,选用普通载玻片作为基底,采用直流磁控溅射法制备∧ぃ⒉捎盟ò泄步ι涞姆法制备不同复合量的猅春媳∧ぁ=柚璧缱酉晕⒕蚗射线衍射纫瞧鳎低逞芯苛酥绷鞔趴亟ι工艺参数对薄膜表面形貌与结构的影响;并对其光催化性能及亲水性研究结果表明:采用直流磁控溅射法,在溅射功率为、工作气压为、沉积时间为⒀跗㈦财髁慷嘉靶基距的条件下,获得的∧け砻嫫秸旅埽柿孔钣拧并且∧ぞ。嘶鸷蟊∧け砻嬷柿亢茫峋С潭雀撸珻轴择优取向相对较好。采用双靶共溅射的方法成功制备了甌春媳∧ぃ琗分析表明,经复合后薄膜的晶体结构发生了改变,并且在靶的溅射功率为时,出现了锐钛矿妗面和对∧そ薪岷狭Σ馐韵允荆琙薄膜的结合力约为复合膜的结合力略有降低,约为光催化性和亲水性的测定实验表明,对于∧ぃ退火的样品对甲基橙的降解率高于其它温度退火的样品,且降解率和亲能进行了详细的研究。的衍射峰。江苏大学硕士学位论文
水性都随薄膜厚度的增加而提高。甌∧さ墓獯呋院陀拢核性明显高于单一∧ぃ⑶,其亲水性也达到最优。关键词:磁控溅射,∧,结合力,光催化性,亲水性磁控溅射法∧ぜ癦—复合薄膜的制备研究
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