文档介绍：僀儞僗僩乕儖咱妋捣偑昞帵偝傟杰偡丅偙咱杰杰咱撪梕偱傛傠偟偗傟伪丄偦咱杰杰乽师傊乿傪僋侪僢僋偟偰偔偩偝偄丅QG/ZDⅡ-T03-12-2003中国电子系统工程第二建设公司洁净厂房高纯气体管道施工工艺标准拟稿单位:总工程师办公室编制:邓顺志审核:王开源批准:侯忆二OO三年一月二十五日目录1、总则----------------------------------------------------------------------------------12、高纯气体的三个主要参数-------------------------------------------------------13、管道材料选择----------------------------------------------------------------------24、施工程序----------------------------------------------------------------------------45、图纸会审----------------------------------------------------------------------------56、工程测定----------------------------------------------------------------------------57、绘制管段图-------------------------------------------------------------------------58、设置预制洁净房-------------------------------------------------------------------69、材料检查确认----------------------------------------------------------------------610、保护气体的供给和管理---------------------------------------------------------911、管段预制--------------------------------------------------------------------------1112、现场配管施工--------------------------------------------------------------------1313、压力试验--------------------------------------------------------------------------1914、系统吹扫--------------------------------------------------------------------------2015、系统测试--------------------------------------------------------------------------21附录1露点、含湿量、绝对湿度换算表---------------------------------------24附录2洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级------------------------26附录3EP/BA管自动氩弧焊接钨棒尺寸表------------------------------------27总则本标准适用于洁净厂房高纯气体管道配管施工。气体管道的干管,应敷设在上下技术夹层或技术夹道内,当与水、电管线共架时应设在其上部。当采用碳素钢支吊架、碳素钢管卡时必须是镀锌件,且不锈钢管道与其接触处应采用不产尘的非金属材料隔离。高纯气体管道的设计应符合下列要求:、压力或生产工艺需要确定管径,气体管道最小管径不小于φ6×1mm;;、死角;。气体管道穿过洁净室墙壁或楼板处的管段不应有焊缝。管道与墙壁或楼板之间应采取可靠的密封措施,并用装饰板封堵。可燃气体和氧气管道的末端或最高点应设放散管。放散管引至室外应高出屋脊1米,并应有防雨、防杂物侵入的措施。可燃气体和氧气管道还应符合《洁净厂房设计规范》。高纯气体终端过滤器应设在靠近用气点处。高纯气体的三个主要参数所谓高纯气体管道的洁净技术控制,主要是指气体纯度、干燥度、洁净度的控制(即三度控制)。气体纯度指气体中杂质气氛的含量,通常用气体纯度的百分数表示,%(俗称6个9),也可用杂质气氛含