文档介绍：;<=>?AC,H
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MF-
Siargo Ltd.
2041 Mission College Blvd, Ste 250
Santa Clara, CA 95054 USA
SIARGO MEMS FLOW SENSOR PRODUCTS
Tel:+1(408)969-0368
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© 2010 Siargo Ltd.
MF系列气体质量流量计
使用须知
1. 本产品仅适用于工业和商业环境范围内的气体测量、监测和控制。其他
环境内的使用应严格禁止。
2. 本产品在清洁气体的环境中使用最佳;不适用于有大量粉尘、油污及多
相流的环境中;对于有大量水汽的环境,请事先与厂商联系。
3. 在使用或应用本产品时,应严格遵循相应有关的电器安全使用注意事项
和规程。
4. 在使用或应用本产品时,应严格遵循相应有关的操作规范和操作人员安
全注意事项和规程。
5. 在使用本产品前请仔细阅读本说明书。
6. 如对本说明书有任何疑问,请及时与厂商联系。联系方式请参阅本说明
书的客户服务部分。
7. 矽翔微机电系统有限公司及其分公司、子公司、办事处及其它附属机构
将不为任何因不当使用本产品带来的损害负责。其它事宜以销售合同为
准。
注意事项
1. 本产品只有在本手册界定的使用环境中才能正常工作。
2. 在具有爆炸性气体的环境中使用本产品时,产品应安装在具有上下游阀
门的管道中,并严防因其它气体的渗入带来的安全隐患。
3. 本产品带显示的表头可单方向旋转180度。安装时,应按旋转方向旋转,
避免强行旋转带来的产品损坏。管道的连接和检漏应按相应的操作规程
进行。
4. 在产品使用过程中,或在在线情形下,清洗管道或其他可能引入大量杂
质的操作将可能对产品带来损坏。
5. 在产品安装过程中,严禁实施在线电焊作业。
6. 本产品有一定的自重,安装和搬运应按操作规程进行,以免带来伤害。
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矽翔MEMS流量产品系列
目录
使用须知 1
注意事项 1
一、概述 3
二、产品结构与工作原理 4
三、产品特性参数 6
四、安装说明 7
五、RS485通讯功能 10
六、检定 10
七、本安防爆安装使用要求 11
八、安全、维护及故障排除 11
九、运输及储存 12
十、开箱及检查 12
十一、客户服务及技术支持 12
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MF系列气体质量流量计
一、概述
微功耗型微机电燃气质量流量计是美国矽翔微机电系统有限公司采用自主研发世界领先的微功耗微
机电系统(MEMS)流量传感芯片技术和计算机自适应技术历经多年专门为燃气贸易计量开发的。
产品适用于清洁燃气(如天然气、液化天然气等)的贸易计量。本产品所具有的超大量程比、无需
温度压力补偿、无可动部件、质量计量等特点可有效地减少燃气的贸易供销差等问题。同时,本产
品也可配以多种信号输出,通过通讯接口实现网络管理功能。
本系列流量计的执行标准为:Q/77453766-1·1-2009。参照执行标准:ISO-14511;GB/T 20727-2006。
本系列流量计生产许可号: 川制00000360号; 沪制01150240号。
防爆许可证:GYB06444。
产品特点
采用专利微机电系统芯片制造技术和材料生长技术,传感器的尺寸缩小到了微米量级,提高
了灵敏度,使流量计的始动流量大大降低。
传感器芯片工作原理为热质量流量计量,从而流量计无需温度及压力补偿,保障了流量计的
高精度计量。
在单个芯片上实现了多传感器集成,使该流量计的量程比大大提高。
世界独有的微功耗热质量流量芯片技术,使用内部锂电池正常工作状况下可以连续工作一年
以上。
传感器零点稳定度较之传统的热式质量流量计有极大的改善。
结合二