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文档介绍：CMOSens EM1
气体质量流量计



 CMOSens技术
高性价比
响应速度快(可达到 200Hz)
宽量程比(1:100,精度 3%)
最大流量可达到 200ln/min (FS)
经过数字标定和温度补偿
 RS232 和 SPI 数字接口



v / August 2006
CMOSens EM1 产品简介
CMOSens® EcoLine EM 1 质量流量计 CMOSens® EcoLine EM 1,外壳耐用,抗化学剂,
(MFM)可在较大的动态范围内对气体流量进广泛应用于过程控制,医疗器械及燃料电池等
行快速和经济的测量。其较高的性价比源于领域的流量测量。
Sensirion 卓越的 CMOSens®传感器技术,将传感传感器外壳为测量气体流量提供两个入
器元件与放大器、A/D 转换电路集成在一个口,并且抗 8bar (116psi)过压。
CMOS 芯片。使产品不仅性能高,反映时间快, CMOSens® EcoLine EM 1 要求电压为 7…18
动态范围大,而且价格诱人。 Vdc,并提供 RS-232 或 SPI 电气接口。
所有的测量数据都通过一个内部的微控制
器经过完全校准和温度补偿。




Figure 1: Block Diagram CMOSens EM1 Mass Flow Meter.
TEL: [phone] 盛思锐贸易(深圳)有限公司 Sensirion - the pany 1/15
CMOSens EM1 Mass Flow Meter for Gases
产品描述
CMOSens® Ecoline 质量流量计的核心是由用于 CMOSens® EcoLine 质量流量计读出数据
Sensirion 卓越的 CMOSens®传感器技术支持,因的软件可从费下载。
此其性价比高。一个单独的装置就可覆盖
~200 ln/min 的测量范围。
CMOSens® EcoLine EM 1 运行的内部流量积分 CMOSens® 技术
时间为 5ms,使得所显示的信号响应块,测量结
果更为准确。但通常情况是,在一段较长时间 CMOSens® 是所有 Sensirion 多种传感器模
内的测得精确的总流量,比单一的快速测量更块和传感器系统的技术基础。半导体芯片和
为重要。对于这种情况,可以将 CMOSens 传感器技术的结合为解决精密且可靠的传感
EcoLine EM 1 读数的速度设置得慢一些(见表器高集成系统的提供了平台。通过 CMOSens®
2)。传感器内部仍然在 5ms 段内进行积分,并技术,芯片上的传感器元件,同最末端放大
且快速识别信号的变化,但整个时间段内的总和 A/D 变换器电路,共同形成了一个统一的
流量读数已经经过计算。因此,质量流量计整体。由于压缩单芯片设计,CMOSens®基础
CMOSens® EcoLine EM 1 特别适用于气体流量变上的传感器可以抵抗电磁干扰,这是传感器
化快,需要快速检测,精确累计检测量的复杂技术的另一重要优势。因此,CMOSens®基础
测试环境。上的多种传感器模块,传感器精确,反映时
CMOSens® EcoLine 质量流量计测量的实际质间快,而且动态测量范围广。此外,
量流量,不受环境温度和压力变化的影响。您 CMOSens® 的传感技术的数字智能,是它拥有
只需将要测量的气体连接到 CMOSens® EcoLine 能够与客户系统连接的数字化接口,这一优
EM 1 设备上,就可在 5 ms 和 640 ms 可选择的积势可以为客户及时提供问题解决方案。
分时间内得到即时的气体质量流量。根据不同 1 CMOSens® EcoLine EM 1 气体质量流量计
的型号,可通过连接 CMOSens® Ecoline 质量流量性能
计,直接测量在 ln/min~200 ln/min 范围的流
量。 2 CMOSens® EcoLine EM 1 气体质量流量计
CMOSens® EcoLine EM 1 设备,除了测量质量性能
流量之外,还可测得 CMOSens® 传感器元件上的

温度数据。质量流量和温度数据都通过 RS-232

或接口获得。使用接口下可将
SPI RS-232
®
CMOSens EcoLine 质量流量计直接连接到 PC
上。使用 SPI 接口可将 CMOSens® EcoLine EM 1 用
于更小的微控制器系统中。如果需要一