文档介绍：西安电子科技大学硕士学位论文高组份薄势垒熘式嵫芯导师:张进成教授作者:李小刚学科:微电子学与固体电子学中国西安月
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导师签名:剩本人签名:骞·删本人签名:存小冈』丝堡菏日期弘弧す⒊创新性声明本人声明所呈交的论文是我个人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。尽我所知,除了文中特别加以标注和致谢中所罗列的内容以外,论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果;也不包含为获得西安电子科技大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均己在论文中做了明确的说明并表示了谢意。申请学位论文与资料若有不实之处,本人承担一切相关责任。日期矽·/关于论文使用授权的说明本人完全了解西安电子科技大学有关保留和使用学位论文的规定,即:研究生在校攻读学位期间论文工作的知识产权单位属西安电子科技大学。本人保证毕业离校后,发表论文或使用论文工作成果时署名单位仍然为西安电子科技大学。学校有权保留送交论文的复印件,允许查阅和借阅论文;学校可以公布论文的全部或部分内容,可以允许采用影印、缩印或其它复制手段保存论文。。日期
摘要疓高电子迁移率晶体管在高频大功率器件中应用很有前景,这是因为其具有宽禁带,高的电子迁移率,高的击穿场强,强的极化。为了不断提高器件的频率,缩小栅长是必要手段,但是当栅长缩小到韵率保9疓势垒层厚度以上熘式峁咕突岢鱿侄坦档佬вΓ阈值电压随漏压偏移严重,沟道夹不断等。缩小势垒层厚度ǔUこぃ评莶愫度大于嵌陶こて骷种贫坦档佬вΦ谋乇复胧6杂贏/熘式峁梗势垒层厚度缩小,要想维持较高的二维电子气密度,必须相应地提高势垒层组分,因此,研究高组份薄势垒的疓异质结构是高频率骷闹要课题。然而,评莶阒柿炕崴孀臕榉莸脑黾佣嘶谧榉莩骋值时,方阻会上升。解决这个问题的一种方法是使用短周期疓超晶格作为评莶恪1疚脑诖吮尘跋驴U梗饕Q芯磕谌莺徒峁缦拢逜榉荼∈评軦/熘式岵牧仙ぁT谝熘式岵牧仙ぶ螅进行了材料特性测试,并与常规结构疓异质结进行比较,结果发现,面密度并没有随着势垒层变薄而减少,这是因为通过提高势垒层中组份可以补偿由势垒层厚度变薄给异质结中极化带来的影响。其次研究了辈愫虯插入层对于异质结特性的影响。当评层中组份增加时,异质结材料表面形貌会恶化,通过增加辈愫穸龋梢发现异质结材料的表面形貌得到改善,台阶状变得明显,岛状形貌逐渐消失。插入层的引入,使得等效导带不连续增大,进而可以增加异质结中面密度,而迁移率没有随面密度的增加而下降。逜榉荼∈评軦/熘式崞骷谱鳌T谡この情况下,器件的最大饱和电流/,跨导也达到褂枚讨芷贏/Ц袷评莸母逜榉軦/熘式嵘ぁJ先对类疓异质结进行了能带仿真,发现通过调整超晶格势垒中ゲ愕暮穸龋梢愿谋淅郃势垒层中等效组份。在材料生长之后,进行了馐裕氤9娼峁笰/熘式峤辛比较,结果发现,在组份比较高时,使用疓超晶格作为评莶的异质结表面形貌得到改善。当组份比较高时,超晶格势垒层表面依旧呈现出台阶状。对类疓异质结,通过测试,从载流子分布可以看出,仅存在一个沟道,这说明使用短周期疓超晶格可以很好的替代常规合金评/。
层。在组份基本相同时,类疓异质结中比常规结构疓异质结极化诱导电荷更多,迁移率更高。这证实了使用短周期疓超晶格作为类评莶愕挠攀啤在等效组份对类疓异质结电学特性影响研究中,增加等效组份,可以极大增强异质结中极化效应,然而由于面密度的增加,尤其是厚度变大,界面应力增大,合金无序散射和界面粗糙度散射增强,导致迁移率下降。关键字:疓异质结高组份薄势垒超晶格势垒高组份薄势垒熘式嵫芯,渊孽瓣一
疓甒,疓琱,.瑃,瑆,瑃甀/.,瓵,—猙..瑂甌瑆
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录目摘要⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯第三章高组份薄势垒疓异质结生长⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.第四章类疓异质结材料生长⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..录⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯第一章绪论⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯鵋奶氐恪常规鵋姆⒄估獭高组份薄势垒疓研究进展⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.本文主要工作⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..第二章熘式峤峁估砺垩芯俊熘式峤峁估砺邸宓;镆熘式嵝纬傻奈锢砘。/熘式岬募ɑ灾省材料表征技术⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.兜卤ā本章小结⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯高组份薄势垒疓异质结材料生长⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯高组份薄势垒疓异质结材料特性研究⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯高组份薄势垒疓异质结