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鱼皇阻钢铁研究总院博士学位论文盈盟坠射频辉光放电等离子体光谱激发源及其增强效应研究奎坠她舟一迨生攮一尘业拍一塾金一纠海一盟塾一旦学科、专业:3研究生学号:指导教师:学习期限:582Q12Q3分类号:单位代码:U2Q!DC
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射频辉光放电等离子体光谱激发源及其增强效应研究0119Enhancement一级学科冶金工程学科专业冶金物理化学作者姓名王永清指导教师王海舟教授,李小佳教授StudyRadioDischargeandTheFrequencySthe1ource
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学位论文作者签名:嬲签字日期:南/矿年,月吵日学位做储张乒砀,月,尸日原创性声明学位论文版权使用授权书签字日期:如/月,夕日o本人郑重声明:所呈交的学位论文,是本人在导师的指导下,独立进行研究工作所取得的成果。除文中已经注明引用的内容外,本论文不含任何其他个人或集体已经发表或撰写过的作品或成果。对本文的研究做出重要贡献的个人和集体,均已在文中以明确方式标明。本声明的法律结果由本人承担。本人完全了解钢铁研究总院有关保留、使用学位论文的规定,即:学校有权保留送交论文的复印件,允许论文被查阅和借阅;学校可以公布论文的全部或部分内容,可以采用影印、缩印或其他复制手段保存论文。C艿穆畚脑诮饷芎笥ψ裱斯娑导师签名:
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摘要GrimmIIDCRF射频辉光放电光谱仪技术因其能直接分析固体样品和深度逐层分析,并可直接分析导体和非导体样品而日益受到重视。在世界范围内目前仅有三家公司有射频辉fj{在溅射速率和激发效率都较低的问题。射频激发源和增强型激发源是辉光光谱仪研究工作的重点之一。本工作研究设计了三种激发源以及配套的/驱动电源、放电室气压自(PMT)检测系统搭建了‘.型辉光放电光谱仪”实验平台。利用瓽突怨夤馄滓鞘笛橄低称教ǎ疾炝搜兄频腗汀种种/激发源。介绍了旨し⒃吹纳杓平峁梗贜—,并对其性能进行了测试考察。通过建立校准工作曲线实验,确定了型激发源在分析导体样品上的结构设计难点。考察了氩气气压和射频功率对型激发源溅射玻璃样品的溅射Grimm果,优化了提高测试指标的激发源结构。通过实验得出了非导体样品的厚度对光谱得满意的测试指标,对彩涂钢板表面做逐层检测表明层间分辨率和重现性良好。⒃唇ńι淙⊙图し⒎直鹩蒅虸完成,GDICP效率,解决了传统激发源需兼顾溅射速率和激发效率所需功率不同的问题。对锌合金标样溅射测试,实验结果表明在扣除背景后其谱线信号强度是未加銮渴逼紫咝藕诺倍左右。关键词:辉光放电光谱仪;激发源;射频;增强
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-(GD-OES)hasconductive(De)butnon-conductive(RF)Therespectrometry(RF-GD-OES),matching—-madephotoThreetwoplatformTwoforwardexperimentseffectsworkingprecision狪witllGrimm-IIandstructurethetechniqueforitsanalyzesolidinterestsbecausethoseradiofrequencygraspedRFGDOES瓸speedoftheofGDOES/
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