文档介绍：合肥工业大学
硕士学位论文
脉冲激光沉积法制备高质量ZnO薄膜及其缓冲层的研究
姓名:仇旭升
申请学位级别:硕士
专业:微电子学与固体电子学
指导教师:梁齐
20080601
脉冲激光沉积法制备高质量∧ぜ捌浠撼宀愕难芯摘要敏性和压敏性,且易于与多种半导体材料实现集成化。由于这些优异的性质,使其具测器、压电器件、压敏器件、紫外发光器件和气敏传感器等。近年来,对其研究和开三个因素。通过和谱测试研究这三个因素对所制备薄膜的表面形貌、结晶性能和光学性质的影响。进行了∧た煽厣し矫娴难芯浚訸薄膜论文进行了∧せ撼宀愕难芯俊与衬底失配度较大,所生成∧氧化锌且恢挚泶室温下族化合物半导体,激子结合能为哂辛较诵靠蠼峁埂薄墨菊有良好的透明导电性、压电性、光电性、气有广泛的用途和许多潜在用途,如声表面波器件、平面光波导、透明电极、紫外光探发在国内外科学界及工业部门引起了极大的关注和兴趣。本文通过采用脉冲激光沉积法在单晶牡咨仙ち搜豤轴高度取向的高质量∧ぁ3牡孜露取⒒肪逞跹埂⒙龀迤德适怯跋毂∧ぶ柿糠浅V匾5的制备条件进行了优化。的质量受到影响。本文引入了缓冲层并就生长过程中缓冲层的引入对薄膜质量的影响作了分析。通过研究发现,引入缓冲层后,∧け砻嫘蚊裁飨愿纳疲琗半高宽减小,表明结晶质量提高。论文对缓冲层在薄膜生长中的作用进行了探讨。关键词:氧化锌:脉冲激光沉积;原子力显微镜;还庵路⒐猓换撼宀
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字日期:刁晰‘月切日学位论文者签名彳签字日期:省录尤独创性声明学位论文作者签字“学位论文版权使用授权书签字日期:加嗡年参月弘日也不包含为获得金罂至些太堂本学位论文作者完全了解金妲王些丕堂有关保留、使用学位论文的规定,有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘,允许论文被查阅或借阅。本人授权盒壁王些太堂—可以将学位论文的全部或部分论文内容编入有关数据库进行检索,可以采用影印、缩印或扫本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。据我所知,除了文中特别加以标志和致谢的地方外,论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果,或其他教育机构的学位或证书面使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示谢意。描等复制手段保存、汇编学位论文。C艿难宦畚脑诮饷芎笫视帽臼谌ㄊ学位论文作者毕业后去向:工作单位:通讯地址:导师签名:电话:邮编:
致谢本论文是在我的导师梁齐副教授的悉心指导下完成的。在这近三年的时间中,梁老师无论在理论学习还是实验操作上都对我进行了精心的指导。从课题的选取到实验的开展直至论文的完成,无不凝聚着梁老师的心血。梁老师细致严谨的治学态度、求真务实的工作作风、宽阔的胸襟、诲人不卷的育人精神、严于律己、宽以待人的学者风范令我终身难忘。借此机会再次的感谢梁老师对特别感谢理学院微电子教研室的汪壮兵博士和于永强老师等人给予的大力帮助和指导,感谢同实验室的刘炳龙同学、谢可可同学、李丽丽同学在学习及论文完成过程中给予的帮助。感谢我的父母及家人,感谢你们多年来对我的培养和对我在求学道路上的支持。感谢在我学习和生活中给予帮助和支持的每一个人。作者:仇旭升年月日我的培养,谢谢您
第一章绪论信息技术的飞速发展,对海量信息存储的需求迅猛增长,光存储目前达到的存储密度和数据传输速率还远远满足不了飞速发展的信息科学技术的要求。于是,高密度和快读写的光存储技术成为非常重要和极其迫切的课题。达到或超过光的衍射极限擅琢考的高密度光存储和超大容