文档介绍：“08包:精密运动控制系统、纳秒脉冲激光器”的具体技术需求如下:
一、名称: 精密运动控制系统数量: 1 台(件)
标准配置名称
技术参数及规格要求
高速动态聚焦单元
高速动态聚焦单元技术参数
输入通光孔径:5 mm
扩束因子:
工作波长:1064 nm
长时间工作最大承受功率:60 W(无需水冷)
最大激光功率密度:连续光1000 W/cm2,脉冲100 MW/cm2
工作环境温度:25±10 ℃
高速扫描单元技术参数
内部最大光斑直径:14 mm
输入输出控制:数字信号XY2-100标准
最高定位速度:70 rad/s (配f=420 mm F-Theta镜,可达29 m/s)
典型工作速度:4 m/s (配f=420 mm F-Theta镜)
反射镜片:高性能介质镀膜
工作波长:1064 nm
允许最高平均功率:250 W
最大激光功率密度:连续光500 W/cm2
工作环境温度:25±10 ℃
增益误差<5 mrad
聚集光斑:<120um
动态精度:<22urad
F-Theta镜焦距:420 mm
校正文件:
聚焦单元
扫描单元
激光器
扩速器
工作距A(见图):589 mm
工作距B(见图):20 mm
校正因子K:210 bits/mm
工作面:275 mm x 275 mm
Z方向最大工作范围:±50 mm
高速扫描单元
扫描控制卡和软件
工业PC电脑
附件名称
技术参数及规格要求
场镜
F=160
质量保修期
1年
安装调试及验收
到货1-2周内
交货期
付款后6-8周
特殊要求
此系统需与本项目中“纳秒脉冲激光器”配合使用
备注
含税价
二、名称: 纳秒脉冲激光器数量: 1 台(件)
标准配置名称
技术参数及规格要求
纳秒脉冲光纤激光器
(含扩束及特殊光隔离器)
纳秒脉冲光纤激光器
平均功率:20W
中心波长:1064nm
光束质量:M2<
单脉冲能量:1mJ
脉冲宽度:4~200ns
重复频率:~1000kHz
峰值功率:〉15000W