文档介绍：湖南无尘车间的特性
随着21世界最尖端产业的发展，加速了产业结构的变革，无尘室设立之必要性也相对地提高。商品日渐的小型化和精密化，尘埃和温湿 的变化对商品的完成度亦造成极大的危害，导致品质低下。伴随商品的高品质要求，环境无尘化的需求也日益提高。因此在无尘室中 用防尘材料及商品都显得格外重要。 所谓的无尘室是一个人造的环境，里面含有的粒子远低于一般的环境，随着集成电路的级数的快速成长，也增加了对制造环境(无尘室)洁净度要求，。优于纳米技术的兴起，造成半导体关键尺寸持续缩小，集成电路积集度不断地增加，尘粒更容易使芯片失效或可靠度恶化。例如当金属尘粒落到金属导线时，就可能会使金属导线形成短路。又如果有酸性的离子化合物尘粒掉在金属导线上，可能将其腐蚀，所以无尘室为集成电路制造不可或缺的要素。     
一、无尘车间定义
  「无尘车间」是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。 洁净室最主要之作用在于控制产品所接触之大气的洁净度及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为「无尘车间」。
二、无尘车间的等级   
美国联邦标准（< USA Federal Standard ）209E （1992 年）PC/ft3 
洁净度级别        粒 径 (um) 
                                         
1         35                3         1         NA
10          350        75        30         10        NA 
100        NA        750        300       100        NA 
1000         NA        NA        NA        1000        7 
10000         NA        NA        NA        10000        70 
100000         NA        NA        NA        100000        700  
中国药品生产无尘车间（区）的空气洁净度标准 
洁净度级别        尘埃最允许数 /平方米        微生物最大允许数 
        ≥        5um        浮游菌个 /立方米        沉降菌个 /   
100        3500        0        5        1 
10000        350000        2000