文档介绍：液晶显示器用材料特性简介----李星第一篇 ITO 导电玻璃简介 ITO 导电玻璃是在钠钙基或硅硼基基片玻璃的基础上, 利用磁控溅射的方法镀上一层氧化铟锡(俗称ITO)膜加工制作成的。液晶显示器专用ITO 导电玻璃,还会在镀ITO 层之前,镀上一层二氧化硅阻挡层,以阻止基片玻璃上的钠离子向盒内液晶里扩散。高档液晶显示器专用ITO 玻璃在溅镀ITO 层之前基片玻璃还要进行抛光处理,以得到更均匀的显示控制。液晶显示器专用ITO 玻璃基板一般属超浮法玻璃,所有的镀膜面为玻璃的浮法锡面。因此,最终的液晶显示器都会沿浮法方向,规律的出现波纹不平整情况。在溅镀 ITO 层时,不同的靶材与玻璃间,在不同的温度和运动方式下,所得到的 ITO 层会有不同的特性。一些厂家的玻璃 ITO 层常常表面光洁度要低一些, 更容易出现“麻点”现象;有些厂家的玻璃 ITO 层会出现高蚀间隔带, ITO 层在蚀刻时,更容易出现直线放射型的缺划或电阻偏高带;另一些厂家的玻璃 ITO 层则会出现微晶沟缝。 ITO 导电层的特性: ITO 膜层的主要成份是氧化铟锡。在厚度只有几千埃的情况下,氧化铟透过率高, 氧化锡导电能力强,液晶显示器所用的ITO 玻璃正是一种具有高透过率的导电玻璃。由于 ITO 具有很强的吸水性,所以会吸收空气中的水份和二氧化碳并产生化学反应而变质,俗称“霉变”,因此在存放时要防潮。 ITO 层在活性正价离子溶液中易产生离子置换反应, 形成其它导电和透过率不佳的反应物质,所以在加工过程中,尽量避免长时间放在活性正价离子溶液中。 ITO 层由很多细小的晶粒组成,晶粒在加温过程中会裂变变小,从而增加更多晶界,电子突破晶界时会损耗一定的能量,所以ITO 导电玻璃的ITO 层在600 度以下会随着温度的升高,电阻也增大。 ITO 导电玻璃的分类: ITO 导电玻璃按电阻分,分为高电阻玻璃(电阻在150~500 欧姆)、普通玻璃(电阻在60~150 欧姆)、低电阻玻璃(电阻小于60 欧姆)。高电阻玻璃一般用于静电防护、触控屏幕制作用;普通玻璃一般用于TN 类液晶显示器和电子抗干扰;低电阻玻璃一般用于STN 液晶显示器和透明线路板。 ITO 导电玻璃按尺寸分,有14”x14”、14”x16”、20”x24”等规格;按厚度分,有 、、、、、 等规格, 以下的主要用于STN 液晶显示器产品。 ITO 导电玻璃按平整度分,分为抛光玻璃和普通玻璃。影响 ITO 玻璃性能的主要参数: 长度、宽度、厚度及允差(± ) 垂直度(≤ % ) 翘曲度(厚度 以上≤ % ,厚度 以下≤ % ) 微观波纹度微观波纹度( 表面形貌仪测量) 厚度(mm) 抛光面镀膜面 ≤ μm/20mm ≤ μm/20mm ≤ μm/20mm ≤ μm/20mm ≤ μm/20mm ≤ μm/20mm ≤ μm/20mm ≤ μm/20mm 倒边 C 倒边(≤宽度≤) R 倒边(≤宽度≤,曲率半径≤50mm) 倒角(浮法方向 ;其余 ) SIO2 阻挡层厚度(350埃±50 埃,550nm 透过率≥90%) ITO 层光学、电学、蚀刻性能(蚀刻液: 600C 37%HCL:H2O:67%HNO3=50:50:3):见表 1-1。表 1-1 膜厚透过率(波长 550nm ) 方块电阻蚀刻时间 150A±30 A ≥ 90% ≤ 180 Ω/ 口<30 s 150A±30 A ≥ 88% ≤ 200 Ω/ 口<30 s 200A±50 A ≥ 87% ≤ 150 Ω/ 口<30 s 250A±50 A ≥ 87% ≤ 100 Ω/ 口<30 s 300A±50A ≥ 87% ≤ 80 Ω/ 口<35 s 350A±50A ≥ 85% ≤ 60 Ω/ 口<60 s 400A±50A ≥ 83% ≤ 50 Ω/ 口<60 s 450A±50A ≥ 83% ≤ 45 Ω/ 口<60 s 500A±100A ≥ 82% ≤ 40 Ω/ 口<60 s 700A±100A ≥ 81% ≤ 30 Ω/ 口<100 s 900A±100A ≥ 80% ≤ 20 Ω/ 口<120 s 1250A±200A ≥ 85% ≤ 17 Ω/ 口<150 s 1500A±200A ≥ 86% ≤ 15 Ω/ 口<200 s 2000A±250A ≥ 80%