文档介绍：大连恒坤新材料有限公司
集成电路前驱体项目
环境影响报告书公示简本
建设单位：大连恒坤新材料有限公司
二◦一九年三月
项目背景
集成电路前驱体是电子信息与化工行业交叉的领域，专业性强，是典型的技
术密集行业，也是电子特殊气体中对品质、纯度要求最高的细分领域之一。下游电子信息产业的技术进步，对上游特种气体的产品质量和品质提出了非常高的要求。由于国内半导体行业快速增长，带动了半导体材料需求快速释放，其对高纯度前驱体材料的需求量也在稳步增长。
恒坤集团始建于1996年，于2015年在新三板挂牌，集团公司致力于为半导体及集成电路厂商提供高性能光刻胶、电子特殊气体等先进电子化学品材料。大
连恒坤新材料有限公司是恒坤集团建立的全资子公司，公司成立于 2018年5月
29日，主要经营集成电路前驱体材料研发、货物、技术进出口等。基于集成电路前驱体广阔的市场需求，大连恒坤新材料有限公司投资10000万元，在大连松木岛化工园区建设年产1500t集成电路前驱体项目。本项目已获得企业投资项目备案确认书（大普经备［2018］44号）、建设用地规划批复（地字［2019］第 210282201910001号）和建设用地规划许可证（地字第 210282201910001号）等相关手续。
本项目不属于《产业结构调整指导目录（2011年本）及其2013年修订版》中所列的鼓励类” 限制类” 淘汰类”项目，属于允许类。
建设项目概况及工程分析

项目名称：大连恒坤新材料有限公司集成电路前驱体项目；
建设性质：新建；
单设单位：大连恒坤新材料有限公司；
建设地点：本项目建设地点位于大连松木岛化工园区纬二街和经六路交口处
（N 39°5'", E121° 43'"）；拟建厂址东侧为规划工业用地，目前为空地;
西侧为纬二街；南侧为规划工业用地，目前正在施工；北侧为经六路。本项目地
理位置见图3-1
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项目位置
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750000
图3-1项目地理位置
建设内容：项目总占地面积 ,，主要建设包括一座生产厂房、一座甲类仓库、一座乙类仓库及一座综合楼等配套设施，生产车间内设集成电路前驱体正硅酸乙酯蒸馏提纯生产线一条。

注：G —废气、W —废水、N —噪声、S—固废
G4
S5为罐体清洗废水，收集暂存后委托有资质单位处理
生产工艺流程图
新产品罐内部
产品罐外部零件
N2
注：N—噪声、S—固废
S5为罐体清洗废水，收集暂存后委托有资质单位处理
产品罐清洗流程

本项目运营过程中排放的废气主要是工艺过程不凝气、生产设备阀门等装置
散逸废气及分析室废气，均以非甲烷总烃计。本项目对废气污染物采取下列措施：
1、分析室废气
本项目分析室为百级洁净度以上，主要进行生产过程中产品的采样分析，不使用化学试剂，主要是仪器分析。分析室质检过程会产生有机废气，主要成分为正硅酸乙酯等。本项目在分析室内设置引风系统，对分析室内质检过程产生的有机废气进行收集后通过密闭管道送入 1#活性炭吸附装置进行净化，处理后经 1
根15m高排气筒高于综合楼顶排放，废气收集效率可达 100%净化效率达90%
2、工艺过程不凝气和车间内散逸废气
本项目蒸馏提纯装置为密闭装置，生产过程产生的废气主要为工艺过程冷凝器产生的的不凝气体和各生产设备阀门等装置散逸出的有机废气。蒸馏提纯装置
不凝气通过密闭管道收集后送入车间2#活性炭吸附装置进行净化处理，收集效率 100%净化效率达90%各生产装置阀门等处逸散出的废气较小，本项目在生产车间内设引风系统，对车间内散逸的有机废气进行收集后通过密闭管道送入车间 3#活性炭吸附装置进行净化处理，收集效率可达 100%净化效率达90%不凝气和车间内散逸废气分别经2#和3#活性炭吸附装置净化后，由车间1根15n排气筒高空排放。
通过以上处理措施，本项目排放的非甲烷总烃可满足《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)中新