文档介绍：MICROSCOPES WITH INTELLIGENCE
w tescan. com
扫描电于
竟原理
Theory of Scanning Electron Microscop
OM,TEM&SEM的成像原理
Electron Source
Conden
e
Obiective
Ob jective
eCOl
Sample
cleen
lIn age
In age
O M
TEⅣ
SEM
Difference among om. tem and seM
OM,TEM&SEM的比较表
High
igh voltag
Voltag
之5-3U
Roma tio
LigHt
Air
x-rays Analysi
Not Doss
Possihle
ossie
Blac]s
whi
white
f viev
Lalge
mall
Small
ecL linage
ansmitred
Snrface inn
I Image se
arenas
扫描电镜的优点
高的分辨率。由于超高真空技术的发展,场发射电子
枪的应用得到普及,现代最先进的扫描电镜的分辨率
,钨灯丝扫描电镜的分辨率一般
在3mn左右。
有较高的放大倍数,20-40万倍(钨灯丝4~10万倍)之
间连续可调
有很大的景深,视野大,成像富有立体感,可直接观
察各种试样凹凸不平表面的细微结构
试样制备简单。
·可选配X射线能谱仪和EBSD系统,这样可以同时进行
显微组织性貌的观察、微区成分分析和微区晶体学分
析
Optical microscope VS SEM
产剪
扫描式电镜结构原理图
电子显微镜分为四部分
High voltage
Cm1照明系统

Electron gun
3样品室、真空及电气系
统
Mag contro

Deflection
ection Amplifier
Scanning el
Configuration of a scanning electron microscope
照明系统
1电子枪:发射电子束的电子源。
·2聚光镜:其作用主要是把电子枪的束斑逐渐
缩小,是原来直径约为50mm的束斑缩小成
个只有数nm的细小束斑。扫描电镜一般有三
个聚光镜,前两个透镜是强透镜,用来缩小电
子束光斑尺寸。第三个聚光镜是弱透镜,具有
较长的焦距,在该透镜下方放置样品可避免磁
场对二次电子轨迹的干扰。
电子枪的结构
F
nt current
1阴极:钨丝等
Filament
2栅极:威尔罩
3阳极
We
Bias voltage
Control
ectron beam
电子枪的工作原理
C
工作原理
灯丝中通以加热电流,
丝阴极呈白热状态时,
发射电子。在阳极加
极小孔射向荧光
Bias voltage
极加电
Control
度。调节
圈中电流大小
使荧
到最小的聚焦电
动法集华普套
ectron Be
电子枪的分类
作为阴极的电子源有三类:
1)钨丝
(2) LaB
6丝
以上两类都是由热游离原理产生电子;
(3)场发射枪,由强电场将电子吸出,即由场发射原
理产生电子