文档介绍：独创性声明学位论文版权使用授权书昝础翵『日签字日期:,除了文中特别加以标注和致谢的地方外,论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果,也不包含为获得或其他教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示谢意。学位论文作者签名:签字日期:年月本学位论文作者完全了解有关保留、使用学位论文的规定,有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘,允许论文被查阅和借阅。本人授权可以将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索,可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编学位论文。C艿难宦畚脑诮饷芎笫视帽臼谌ㄊ导师签名:学位论文作者毕业去向:工作单位:通讯地址:电话:邮编:日
摘要点,在微机电系统鳰领域受到越来越广泛的重视。然而,随着技术的飞速发展,传统的飞秒激光串行加工方式因其效率低、灵活性差、实时加工方法;另外一个是基于菲涅尔衍射的并行加工方法。并分别对两种光路进飞秒激光双光子微纳加工具有真三维加工能力和亚微米分辨率等技术特控制性弱等缺点,无法满足现代批量加工的要求。因此,如何设计出高效、灵活、可控的飞秒激光并行微纳加工技术已成亟待解决的问题。本论文在现有飞秒激光微纳加工系统的基础上提出了新的并行加工方法并搭建了相应的光路:同时设计了一套飞秒激光并行存储光学系统,并进行了仿真研究。本文的主要研究内容如下:首先,配合现有的微纳加工设备,提出一种新的加工扫描策略,据此开发了一套新型加工软件,可以实现三维实体造型、扫描路径生成以及加工控制等一系列功能。其次,在现有串行加工光路基础上,利用硅基液晶器件作为空间光调制器提出了两种实现双光子并行加工方法:一是基于傅里叶全息图的并行行了理论分析和实验搭建,给出了初步的实验结果。最后,设计了一种基于数字微镜器件和微透镜阵列的飞秒激光并行存储光学系统,并利用蚆愿孟低辰辛朔抡娼!8孟低呈微镜器件作为空间光调制器,对入射飞秒激光进行调制,并利用设计好的微透镜阵列对调制后光束进行分束聚焦,从而产生可控的多焦点阵列,实现并行光存储。这些工作将为研究项目的顺利完成和该领域研究工作的深入发展打下了良好的基础。关键词:飞秒激光,并行加工,光存储,空间光调制器,全息图,硅基液晶,数字微镜器件,微透镜阵列
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目录摘;要⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.⋯.⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..目录.⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.⋯⋯⋯⋯⋯.⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.插图清单⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯第一章绪论⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯飞秒激光双光子微纳加工技术概述⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.擅爰す馑ü庾游⒛ü庾游⒛杉庸ぜ际醴⒄ü庾硬⑿屑庸さ奶剿鳌论文的研究意义和主要内容⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.系统硬件⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯。.⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.结果分析⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..第三章空间光调制器基本原理⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.空间光调制器⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.介绍⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯。樯堋相位全息图设计算法⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯算法⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯一惴ā第四章基于的飞秒激光并行加工⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.
基于菲涅尔衍射的飞秒激光并行加工光路⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.基于傅里叶全息图的飞秒激光并行加工光路⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..辔恍头颇ù⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.实验结果分析⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.第五章飞秒激光并行光存储系统设计及仿真⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯:..⋯⋯⋯飞秒激光并行存储光学系统光路⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.飞秒激光并行存储光学系统设计及仿真⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.姆抡娼!.⑼!仿真结果及讨论⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.结论⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.第六章总结⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯一论文的主要研究成果⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.研究工作