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存帅劣加学位论文作者签名:南每炎助盏叁:是明和版权使用授权书签字日期:加『辍拢痮日学位论文版权使用授权书氧飙趁儿≤。应签雕本人声明:所呈交的论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。独创性声明据我所知,除了文中特别加以标注和致谢的地方外,论文中不包含他人已经发表或撰写过的研究成果,也不包含为获得其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。对论文的完成提供过帮助的有关人员已在论文中作了明确的说明并表示谢意。学位论文作者┳:签字日期:本学位论文作者完全了解有关保留、使用学位论文的规定,有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的印刷本和电子版本,允许论文被查阅和借阅。本人授权校梢越宦畚牡娜ú炕虿糠帜谌荼嗳胗泄厥菘饨屑焖鳎梢圆捎糜坝⑺跤或扫描等复制手段保存、汇编学位论文。同时授权中国科学技术信息研究所将本学位论文收录到《中国学位论文全文数据库》,并通过网络向社会公众提供信息服务。C艿学位论文在解密后适用本授权书师字斟甓
摘要半导体的检测与分析是一个介于基础研究与应用研究之间的领域,涉及内容广泛。随着半导体科学技术的快速发展,半导体材料测试与分析的内容也在不断的发生变化。少数载流子寿命韵录虺粕僮邮倜可以用来表征材料纯度与结构完整性,是半导体材料的一个重要参数。通过研究少子寿命,了解其寿命的复合机构,更好地掌握材料性能,可有效地进行晶片筛选,提高器件成品率和性能。目前,少子寿命己经成为衡量产品质量的重要指标。对于研发和生产企业,迫切需要科学合理地获得产品的可靠性和寿命数据,必须建立一套科学的测试少子寿命的方法,才能为使用者提供器件的可靠性保证。因此,改变传统测试仪器固定界面、固定功能的模式,构建一个高精度和高稳定度的新型半导体材料电学特性参数分析系统具有十分重要的现实意义。少子寿命测试系统作为研究设备之一,具有非常重要的作用。本论文首先回顾了半导体材料少子寿命测试的历史发展及其基本概念,并对测试理论基础及测试方法作了简要介绍。本课题选择了微波光电导衰减法作为少子寿命的测试方法,在虚拟仪器的基础上搭建了一套新型的少子寿命测试系统。该测试系统包括硬件和软件两部分,对于硬件部分本文只做了简单介绍,重点在于软件的设计实现,软件设计主要包括波形显示和数据二次处理两部分。本文将虚拟仪器技术引入少子寿命测试中,以图形化编程工具H砑7⑵教ǎ湟允莶杉≒一,研究设计了虚拟数字示波器以及数据的二次处理系统,实现了对测试信号波形的显示和数据分析,并对各功能模块的性能进行了实验测试验证。为了验证所设计虚拟测试系统的可靠性,本文还设计了虚拟指数信号发生器模拟少子寿命信号,通过与实际示波器的测试对比,验证了该虚拟系统的可行性,可以完成对少子寿命大于陌氲继宀牧系牟馐浴本课题设计的虚拟少子寿命测试系统相比传统的仪器,在功能使用上有了很大的提高,具有自动化程度、性价比高,功能易扩展、开发周期短等特点,并且容易集成,可以很方便的把同一课题组的多个不同功能的半导体材料测试仪器集成在一起,形成功能强大的半导体测试仪。关键词:少数载流子寿命,微波光电导衰减,虚拟仪器,桂林理工大学硕士学位论文
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篗桂林理工人学硕:宦畚,瑆,—琫瑂.,琒