文档介绍：热丝竺婊鸶帐衲さ制备研究湖南大学工程硕士学位论文学位申请人姓名导师姓名及职称陵丛役釉呋奔锻跣涉培养科专研究方陵堡叠单位趑挝型堂皇王猩堂暄学业挝抖塑堡皇丝堂向全厘ヨ论文提交日期星菸学校代号:学号:密级一一.
洲皑黜鷈萯鷊时乏綿
储群研耵弋.Ⅳ啦弋醐一”月日矿,易礼扣湖南大学学位论文原创性声明学位论文版权使用授权书挣忆本人郑重声明:所呈交的论文是本人在导师的指导下独立进行研究所取得的研究成果。除了文中特别加以标注引用的内容外,本论文不包含任何其他个人或集体已经发表或撰写的成果作品。对本文的研究做出重要贡献的个人和集体,均已在文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律后果由本人承担。本学位论文作者完全了解学校有关保留、使用学位论文的规定,同意学校保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版,允许论文被查阅和借阅。本人授权湖南大学可以将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索,可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存和汇编本学位论文。本学位论文属于⒈C芸冢年解密后适用本授权书。⒉槐C躣。朐谝陨舷嘤Ψ娇蚰诖颉按纭年“年者师作导期期日日名名签签ⅲ工程硕士学位论文
摘要本文应用热丝ㄖ票复竺婊鸶帐衲ぃ由璞傅纳杓萍案脑欤焦ひ辗椒关键词:金刚石膜:热丝ǎ淮竺婊衲ぃ坏扑浚簧に俾剩惶记獗龋磺庠樱人造金刚石膜在生产中有着非常巨大的使用价值,不论在机械、热学、光学或半导体以及声学和现代军事等方面都能发挥其强劲的作用。热丝法竺婊鸶帐衲な窃贑金刚石薄膜基础上发展的新型产品。因其生长效率高、作为刀具具有更佳的使用性能,具备更强的市场竞争力而受到广泛关注。以及对金刚石厚膜的形成机理和对其质量的影响因素,进行了较系统的研究和探讨。谠缙诘慕鸶帐∧ば∩璞傅幕∩希┐笊璞傅奶寤鹊牡ジ菪扑改造为大平面的平整灯丝栅;改进了底座,使之能在工作中旋转;将钨灯丝改为包钨钽丝,使灯丝的工作温度由原来的℃提高至实验所需的℃;并增加了脉冲等离子体,使氢分子离解为原子氢的速率大为增加;改进了气流系统,并对实验的完整工艺给出了严谨的流程。ü越鸶帐どに俾屎蜕ぶ柿康难芯坑胩教郑⑾质淙胂低车钠宓奶记比在一定的灯丝温度下有一最佳值,如当灯丝温度为℃时,输入气体的碳氢比为%;当灯丝温度为℃,。当衬底温度从嫣岣叩℃时,金刚石的生长速率和质量大大提高。但当衬底温度超过℃时,生长速率和质量将会急剧下降。诮鸶帐峁埂⑻荚蛹浼堋⒒隳芰亢突肪承вΦ确矫胬砺垩芯康幕∩希对氢原子在生长金刚石膜中的重要作用以及对金刚石生长的前期物质进行了比较深入的探讨。活性物质热丝竺婊鸶帐衲さ闹聘餮芯Ⅱ
蚴蚰昕В琤鷓妫瑃砒,锄Ⅵ桃,秐玶蒭撇锄锄曲,⑺鹍唧硎缸唧粕锄﹊鷈晰蒭黜鷈髆】:,鷈⑴鴒枷,∞丘鷈籱鷈餌纄砌锄瑆】【瞨縭劬鍪眔】№会秔让屺眔舵〆鍯鷇鷇蛾誰曲,讹锄;觚簅罩簅鱲℃,】∞;鴄;;;籧巧縤畁鮮唱昏,琣耹圮穑甧產詄琲也;瞖鄑ⅲ琲℃℃觞琣辬瑆也%.甎飘阛鎡妫騦吐甌∞膇琤嬲篋;Ⅲ工程硕士学位论文Ⅱ縪