文档介绍：第十九讲真空溅射镀膜_张以忱
------------------------------------------------------------------------------------------------
第十九讲真空溅射镀膜_张以忱
第51卷第2期2014年3月
真空真空VACUUMVACUUM
，
!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!"
!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!"
!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!"
真空技术及应用系列讲座
博士导师杨乃恒先生主持东北大学真空工程博士点，
第一讲:真空科学的发展及其应用!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!李云奇95(2)
第二讲:真空物理基础!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!张世伟95(3)第三讲:机械真空泵(一)(二)(三)(四)(五)(六)!!!!张以忱95(4)、(5)、(6)、96(1)、(2)、(3)第四讲:蒸汽流真空泵!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!
姚民生96(4)
(5)第五讲:气体捕集式真空泵!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!徐成海96
第六讲:真空测量!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!刘玉岱96(6)、97(1)、(2)、(3)、(4)第七讲:真空检漏!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!关奎之97(5)、(6)、98(1)、(2)、(3)第八讲:真空系统设计!!!!!!!!!!!!!!!王继常98(4)、(5)、(6)、99(1)、(2)、(3)
(4)、(5)、(6)、00(1)、(2)、(3)、(4)第九讲:真空系统组——————————————————————————————————————
------------------------------------------------------------------------------------------------
成元件!!!!!!!!!!!王继常99
第十讲:真空密封!!!!!!!!!!!!!!!王继常00(5)、(6)、01(1)、(2)、(3)、(4)、(5)第十一讲:真空材料!!!!!!!!!!张以忱01(6)、02(1)、(2)、(3)、(4)、(5)、(6)、03(1)第十二讲:真空工艺!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!
张以忱03(2)、(3)、(4)、(5)、(6)
(1)、(2)、(3)、(4)、(5)、(6)、05(1)、(2)、(3)、(4)第十三讲:真空系统的检测技术!!张以忱04
第十四讲:真空工程用焊接技术!!张以忱05(5)、(6)、06(1)、(2)、(3)、(4)、(5)、(6)、07(1)、(2)第十五讲:真空工程封接技术!!!!!!!!!!!!!!!!!!张以忱07(3)、(4)、(5)、(6)第十六讲:真空系统的操作与维护!!张以忱08(1)、(2)、(3)、(4)、(5)、(6)、09(1)、(2)、(3)、(4)、(5)、
(6)、10(1)