文档介绍：幽寥落矽貉犬学硕士学位论文微晶硅薄膜材料的制备及其光电特性的研究学科门类:一级学科:学科、专业:研究方向:申请人姓名:指导教师姓名:理学物理学光学光电薄膜材料与太阳电池张林睿周炳卿二蝗晁脑露学校代码:论文分类号:学号:研究生类别:全日制。
攀群触触篙鬈匈签名:毯麟签名:系蝣锄签名:摧囤日期:年‘月萝日不包含本人为获得内蒙古师范大学或其它教育机构的宅啦或证书关于论文使用授权的说明本学位论文作者完全了解内蒙古师范大学有关保留、使用学位论文的规定:内蒙古师范大学有权保留并向国家有关部门或机构送或扫描等复制手段保存、汇编学位论文,并且本人电子文档的内容和纸质论文的内容相一致。年‘月独创性声明本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果,尽我所知,除了文中特别加以标注和致谢的地方外,论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果,也而使用过的材料。本人保证所呈交的论文不侵犯国家机密、商业秘密及其他合法权益。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示感谢。交论文的复印件和磁盘,允许论文被查阅和借阅,可以将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索,可以采用影印、缩印日期:趂;日内蒙古师范大学硕士学位论文
中文摘要种沉积条件下能够表现出理想的生长状态,在何种优化的工艺中发挥出当前,能源危机以及环境污染的问题引起了世界人民的关注,绿色环保的新能源一直是人们热讨的话题。利用太阳能发电是解决这些困惑有效的手段之一。对于各类太阳能电池,薄膜太阳能电池在制备过程中成本低,在整个沉积过程中可以完成电池的制备,因而具有一定的优势。其中微晶硅薄膜电池相比传统的非晶硅薄膜电池,不仅性能稳定,而且能将吸收光谱扩展到红外区域,是一种良好的太阳能电池材料。对于一种性能良好的微晶硅薄膜材料,不仅能够提高薄膜太阳能电池的效率,也可以极大地提高太阳能电池的寿命及其稳定性。对于微晶硅薄膜在何优异的光电性能,其研究是~个极其漫长的尝试过程。对于微晶硅的研究,国外于上世纪年代兴起,而国内主要是在年左右开展的。虽然这项技术的研究目前比较成熟,但是有些现象和机理方面的解释并不完善,作者尝试着从这些点出发,对工作进行展开。本文采用射频等离子体增强化学气相沉积狿姆椒ㄖ票微晶硅薄膜材料,利用湎哐苌淦祝馄祝贤饪杉馔干涔馄祝傅里叶变换红外吸收光谱等~系列的手段对微晶硅薄膜材料特性进行了表征,研究了微晶硅制备过程中,沉积参数对结构特性以及光、电特性的影响。研究了沉积时间对微晶硅薄膜材料性能的影响及其表征的差别。同时也通过传统的退火方式对制备的微晶硅薄膜材料进行了处理,并简单的分析了退火对薄膜材料性能的作用。肞技术制备微晶硅薄膜材料。通过调节衬底温度,电极间距,气体流量,沉积气压以及射频功率等参数。在衬底温度为妫电极间距为遄芰髁课,硅烷浓度为%,沉积气压以及射频功率为奶跫轮票副∧げ牧希ü齒射线衍射谱表征其结构,测试的结果出现了微晶硅的三个特征峰。谖⒕Ч璞∧げ牧系纳す讨校笛榻峁砻魑⒕Ч璞∧げ牧生长具有纵向不均匀性。通过湎哐苌淦缀屠馄锥云浔碚魇保于测量信号探测深度的不同,会对材料的特性产生误判。实验表明,拉内蒙古师范大拳硕士学位论文
谝桓鼋系偷某牡孜露群徒细叩某粱沟奶跫拢芯苛烁呱淦曼光谱对晶化率的判断比较灵敏,芄坏玫秸寰嗟那榭觥L高沉积时间是一种能够较为充分了解材料特性的有效手段。功率密度在微晶硅生长过程中,对晶粒尺寸的变化,以及表面形貌的演化的影响,实验结果表明高能离子的轰击,微晶硅薄膜是以小晶粒团簇状的生长,薄膜内部出现微空洞,表面呈现出不均匀性。生通过在微晶硅制备过程中对硅烷浓度以及衬底温度的调配,发现在表面扩散模型的理论下存在一定的匹配关系,既沉积表面反应的活性与离子的扩散系数相适应的时候,对微晶硅的沉积速率与晶化率有一定促进作用。通过对微晶硅薄膜光学与电学性质的测试,实验证实微晶硅的晶相比例影响着薄膜材料光电特性。其中光学带隙与材料的晶相有着相反的变化趋势,而电导率与晶相有着一致的变化规律。褂肦狿制备非晶硅薄膜,通过传统的退火方式制备微晶硅薄膜材料,并简单的分析了退火对薄膜材料相关特性的影响。关键词:射频等离子化学气相沉积,微晶硅薄膜,结构特性,退火内蒙古师范大学硕士学位论文
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目录第一章引言⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯太阳能电池的发展背景⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯硅基薄膜电池的发展⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯·微晶硅薄膜材料⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯·.⒕Ч璧幕咎匦浴.⒕Ч璧闹票阜椒ā.⒕Ч杼裟艿绯氐慕峁埂