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文档介绍：第6章　电容式传感器
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概述
电容式传感器
电容式传感器的特点是：
小功率、高阻抗;本身发热影响小;
电容器小几十～几百微法，具有高输出阻抗;
静电引力小（极板间），工作所需作用力很小；
可动质量小,具有高的固有频率动态响应特性好；
可进行非接触测量。
传统电容式传感器主要用于位移、振动、角度、 加速度等机械量精密测量。现逐渐应用于压力、压差、液面、成份含量等方面的测量。
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概述
电容式传感器
电容式接近开关
电容式指纹传感器
电容式变送器
差压传感器
各种电容式传感器
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概述
电容式传感器
电容式传感器典型应用
硅微电容式传感器
测量管道液位高度
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电容式传感器——将被测非电量的变化转换为电容量变化。
平板电容器的电容
根据被测参数的变化分：
变极距型电容传感器(d)
变面积型电容传感器(A)
变介质型电容传感器(ε)
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变极距(δ）型: (a)、(e)
变面积型(A)型: (b)、(c)、(d)、(f)、(g) （h）
变介电常数(ε )型: （i）～(l)
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—基本特性
若d从d0→d0-Δd, 电容量C0→C0+ΔC, 则有
当　　　时,变极距式电容传感器有近似线性关系,此时灵敏度
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①为了获得高灵敏度,一般d0(-1mm)较小,但——d0过小易引起电容器击穿或短路。
②电容C与极距d成非线性关系,为了减小非线性误差,通常d变化范围
③此类电容传感器仅适于微小位移的测量
(～数百微米)。
—基本特性
结论
怎么办呢？
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一般变极距型电容式传感器的起始电容在 20～100pF之间, 极板间距离在25～200μm的范围内, 最大位移应小于间距的1/10, 故在微位移测量中应用最广。
对于云母，
图6-3 放置云母片的电容器
云母片的相对介电常数为空气的7倍,击穿电压远远高于空气的,因此可使极板之间的起始距离大大减小。
—双介电层
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