文档介绍：高恐大法硕士学位论文利用超短脉冲激光制作硅表面微结构的研究·畇南开大学研究生院二。一一年五月中图分类号:学校代码:密级:公开.
南开大学学位论文原创性声明非公开学位论文标注说明本人郑重声明:所呈交的学位论文,是本人在导师指导下进行研究工作所取得的研究成果。除文中已经注明引用的内容外,本学位论文的研究成果不包含任何他人创作的、已公开发表或者没有公开发表的作品的内容。对本论文所涉及的研究工作做出贡献的其他个人和集体,均已在文中以明确方式标明。本学位论文原创性声明的法律责任由本人承担。学位论文作者签名:王延年疽潮碇刑钚茨谌菪氪蛴根据南开大学有关规定,非公开学位论文须经指导教师同意、作者本人申请和相关部门批准方能标注。未经批准的均为公开学位论文,公开学位论文本说明为空白。论文题目申请密级口限制年口秘密口机密保密期限年日至审批表编号批准日期南开大学学位评定委员会办公室盖章行日月注:限制可少于:秘密★年缮儆:机密年缮儆
南开大学学位论文使用授权书年南开大学研究生学位论文作者信息根据峡4笱Ч赜谘芯可宦畚氖詹睾屠霉芾戆旆ā罚倚5牟┦俊⑺妒垦获得者均须向南开大学提交本人的学位论文纸质本及相应电子版。“本人完全了解南开大学有关研究生学位论文收藏和利用的管理规定。南开大学拥有在《著作权法》规定范围内的学位论文使用权,即:换竦谜弑匦氚垂娑ㄌ峤谎宦畚ㄖ街视∷⒈炯暗缱影,学校可以采用影印、缩印或其他复制手段保存研究生学位论文,并编入《南开大学博硕士学位论文全文数据库》:=萄Ш涂蒲心康模?梢越公开的学位论文作为资料在图书馆等场所提供校内师生阅读,在校园网上提供论文目录检索、文摘以及论文全文浏览、下载等免费信息服务;萁逃坑泄毓娑ǎ峡4笱教育部指定单位提交公开的学位论文:宦畚淖髡呤谌ㄑO蛑泄萍夹畔⒀芯克中国学术期刊馀电子出版社提交规定范围的学位论文及其电子版并收入相应学位论文数据库,通过其相关网站对外进行信息服务。同时本人保留在其他媒体发表论文的权利。非公开学位论文,保密期限内不向外提交和提供服务,解密后提交和服务同公开论文。论文电子版提交至校图书馆网站:://..:本人的学位论文是在南开大学学习期间创作完成的作品,并已通过论文答辩;提交的学位论文电子版与纸质本论文的内容一致,如因不同造成不良后果由本人自负。本人同意遵守上述规定。本授权书签署一式两份,由研究生院和图书馆留存。作者暨授权人签字::南开大学五教备注:是否批准为非公开论文注:本授权书适用我校授予的所有博士、硕士的学位论文。由作者填写皇搅椒签字后交校图书馆,非公开学位论文须附《南开大学研究生申请非公开学位论文审批表》。:究姓名学号答辩日期博士口同等学力硕士口院/系/所光学否
要摘于岬的光波。此外晶体硅有较高的反射率,降低了其对光波的吸收效率。极高的峰值功率、极短的作用时间等优点,它已成为一种优秀的微加工光源被况,包括损伤阈值,烧蚀深度等,为下一步实验操作提供了数值参考。三、在得出现有实验条件下纳秒激光难以加工出优良的硅片表面微结构的硅材料的应用十分广泛,但受其能带结构的限制,晶体硅难以吸收波长大为了提高吸收效率,在硅片表面制作微结构是一种有效的方法。飞秒激光具有广泛用于材料加工领域。为此我们利用超短脉冲激光进行了一系列制作硅表面微结构实验,并运用分予动力学椒D饬思す庥牍杵互作用的微观过程。主要工作包含一下几个方面:一、在调研飞秒激光与电介质作用的有关理论后,我们计算了飞秒激光,作用下晶体硅的多光子电离系数和雪崩电离系数,┚咛迩二、考虑到纳秒激光加工具有低成本和实验条件要求较低等特点,我们首先利用纳秒激光进行了硅表面微结构的加工,得到了在现有条件下的最优化加工结果,微结构尺度约为叶院焱獠ǘ喂馕章侍岣咧プ笥遥微结构规则度欠佳。结论之后,我们继续进行了飞秒激光微加工实验,分析了不同实验条件对微结构形貌、光学性质的影响。实验得到的硅表面微结构明显优于纳秒激光的实验结果,微结构尖峰尺寸比纳秒激光加工结果小了一个数量级锏搅笥,而且形貌统一,对红外波段光吸收率达到%以上。四、最后,我们结合方法初步探究了硅表面微结构形成的过程。由于超短脉冲激光与硅片相互作用形成微结构的机理尚不明确,我们希望通过分子动力学方法对微结构的形成过程更进一步的研究。通过编程求解方程,我们模拟了飞秒激光脉冲激光烧蚀硅片表面最初阶段的微观过程,为今后进一步量化研究奠定了理论基础。关键词:超短脉冲激光;硅表面微结构;分子动力学摘要
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录第一节表面微结构硅材料的研究意