文档介绍：第卷第期低温与特气．．
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气体中微量一氧化碳、甲烷、二氧化碳的
气相色谱分析
于晓艳，左世芳，卢菊花，陶明，杨红燕，赵建为，张云辉
昆明冶研新材料股份有限公司，云南曲靖。
摘要：建立了甲烷转化气相色谱法测定气体中一氧化碳、甲烷、二氧化碳的分析方法。采用一阀两柱系统，*** 气、***
化氢通过十通阀经柱反吹出系统，一氧化碳、甲烷、二氧化碳通过柱 Ⅱ进入氢火焰离子
化检测器进行检测，通过外标法定量，结果表明该方法线性好，各组分的检出限分别为一氧化碳．× ／
、甲烷．× ／、二氧化碳．× 。该方法简便、准确、灵敏、重现好。
关键词：气相色谱；一氧化碳；甲烷；二氧化碳
中图分类号：．文献标志码：文章编号：——
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多晶硅生产中，氢气作为氢化和还原的原料，如／、．× ／。方华等采用氦
果一氧化碳、二氧化碳含量高，将造成氢还原时硅在离子化检测器和火焰离子化检测器对高纯气体中的
氧化的衬底上沉积产生多晶硅，而微量甲烷在高温杂质进行检测，结果表明，的检测限在．～
条件下生产碳化硅微粒或引入碳原子，降低多晶硅．× ／，的检测限在．～
质量。为保证多晶硅质量