文档介绍：摘要孔盆嘉幢7⒄梗靥灞砻婊征嗦直≡谄块省⒌缱雍凸庋Ы域爷所占搬的地位也日益爨要。以光学法进行表瑚形貌的测量,由于其飘有棼接齄、蠢藕度等徒点,麟毙一鬟是垂蠹终磅究熬重点,并邑鸯多耪基予不同原理的测量方法。“数字光学盥微轮廉仪”是一种新的基于相移干涉原理的焱藤形貔测量方法和应用技术,是集光、枫摄、逸子与计算极予一俸的典型高科技产品。玼本文酋先介绍了虚拟仪器的基本原理,怼其与传统仪器的区别进行了较为详细豹论述,分帮亍了设计中静关键技拳,然后结台裙移干涉溺爨技术,给出了数字光学轮廓仪的硬件和软件的组成。裙整去包裹舅法是摆移干涉溅篷按拳豹兹心黧法,本文在会缀了簧绞去包凝算法和基于快速离散佘弦变换的最小二乘算法的数学模型后,比较了这软件怒虚拟仪器的关键。本文在选定以辜癕?发工具后,对多语畜编程:辛松钊胙芯浚诖似齑∩仙杓坪涂7⒘讼杂雷仪器的重复性是衡量一台仪器的性能的重要指标。本文为了掇高重复性,对采集豹手涉条绞圈数据饺爱多谈平翅法逡学平瀵娃瑾,建立了数学模蒸。理论分析及实际测蹙结果液明,在相移后采集多帧数据,然后对数据进行平滑缝理可以消除臻辘豹睫搬噪声绘测量带寒的影噫,鼓霹较大憋提毫仪器测关键词数据采集;数据处理;楣移干涉术;虚拟仪器:微观轮廓数字光学最微轮廓仪鼹秘算法程实际测爨中褥劐的不尉结果。面缀。量裔勺重复性。‘
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第滦髀§表面微观轮廓测量及其作用悠觥⑵觥⑹甐等二维高度参数发展三维评定参数,以比较全面地反产生,是制件在加工过程中由实际加工介质——切削刀具、磨料、喷丸等在完表面微观轮廓测量一般包括表面粗糙度参数的测量、微小台阶的测量以及小范围内表面三维轮廓的测量。表面粗糙度完全由加工方法固有的内在作用所工表面上留下的微观不平度。例如,切削过程中的残留面积、切屑分裂时材料的塑性变形、刀具对制件表面的摩擦造成的灼伤和刀瘤等因素,在加工后表面上形成各种凹凸不平的微细加工痕迹。采用不同的工艺方式和条件便构成特定的表面微观几何结构。表面粗糙度不包括由机床精度等方面的误差等所引起的表面宏观几何形状误差缰毕叨取⑵矫娑群驮仓鹊,也不包括在加工过程中由机床、刀具、工具系统的强迫振动所引起的介于宏观和微观几何形状误通过长期的生产实践使人们认识到,降低零件的表面粗糙度,对保证配合的可靠性和稳定性,对减小摩擦系数、降低动力损耗、提高机械和仪器的工作精度和灵敏度,对增大支撑面积、减小磨损、提高接触刚度、减小应力集中、增加耐疲劳强度、降低振动和噪音等均起到重要作用,即表面粗糙度直接影响着机械和仪器的使用性能和使用寿命。因此,在保证零件尺寸、形状和位置精度的同时,决不容忽视表面粗糙度。由于表面功能的多样性,也就要求评价表面粗糙度参数的多样性,目前对表面粗糙度参数的研究着重于以下几个方面:莶煌谋砻婀δ苎芯肯喙夭问捌溆跋旃媛桑映表面性质:咏鼋霰碚鞯ジ霰砻娴谋砻媛掷2问蜃酆系胤从骋欢阅Σ撩婧徒哟咏鼋龇从辰嗑槐砻娴男灾剩蚩悸潜砻娼橹实男вΨ⒄梗蛭J导使程表面绝大多数都有润滑剂和其它介质存在。在表面微细轮廓测量中,有些是由线纹、沟槽、镀模等所构成的台阶,其测量是传统的表面轮廓的新发展,与传统的表面测量相比,台阶表面一般为规则表面,边缘比较陡峭;台阶高度数值一般比较大;台阶表面多为软质材料;台阶上下材料多为不同。因此,台阶的测量也是人们积极探讨的问题,特别是大规模集成电路的发展,对台阶测量提出了更高的要求。差之间的波度。面的表面轮廓参数发展:
§表面微观轮廓测量方法概述§.フ胧浇哟ゲ饬考际以往对表面特征的分析,主要周限于由单一截丽轮廓提供的表面几何特性的搂述,然箍实际上物体表露结构璺三维形式。虽然人们试圈从单一截霆聋鑫痿来捺新表面轮廓的三三维几何特性,但是为了判别和验证,馒需要把测量手段从二维扩展到三维。只有对三维的表颟轮廓有真切的认识,才能进一步确认表厦特,鬣鹃最佳评定方式。因此,对表蕊三维轮薅箭检测也是辩技入员积极研究豹慧之,褒嚣皴麟轮薄灏爨理埝耱瘦弱鹣磅究对于秘技发震稻实际生产爨有霆为袭嚣擞蕊轮襄溅纛怼投城、电子皇茄低侈穗ろ靶笊乒惴嘿缬班纾入们在很早以前就认识到表厩轮廓测量的重要性。擞年代,人们就开始搛讨关于表面特瓠肓愦üδ苤涞牧t。农最近二十年,出于徽电子技术、计算机技术、光学技术、传感技术、僚号分析和处理技术等的飞速进步,使袭面测堂技术的发展更为迅速,新方法、新技术层出不穷,在这一科技领域,黧现窭静所耒鸯豹繁荣繁象疆5咀颖礤靼炅矿荒跫己锓椒ㄖ饕S校フ胧浇哟ゲ饬考际酰劢刮蟛罴窠急荆嘁聘缮娌怊旒际酰材V栏罡缮娌饬堪词酰杼秸胂晕⒉饬考际酰儆柘珈嗟钠渌α考际醢锓椒ā现代表面轮廓测量仪器已由传统的纯机械触针发展为集机械、电子、光学与诗募掘手一体熬建遴设套,不饺缝测量二缍戆裘嚣龌糙瘦、波痰帮形状误差,而且述能测量三维空间的表