文档介绍：指导小组成员名单:孙剑吴嘉达许宁应质峰副教授教授
\姻目录摘要⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..第一章引言⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..等离子体和等离子体光谱测量⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.⒉ǚ诺绾虴等离子体⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.脉冲激光烧蚀和脉冲激光烧蚀等离子体⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯...⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯实验装置⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.⒉ǚ诺绾吐龀寮す馍帐醋爸谩⒉⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..煌恢肊氮等离子体光谱激发增强的比较⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..等离子体对不同背景气氛的增强效果的比较⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..す饽芰慷栽銮啃Ч挠跋臁等离子体对5壤胱犹逵跋斓氖奔浞直嫣匦浴訣氮等离子体影响的时间分辨特性⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.⋯⋯⋯⋯⋯⋯..等离子体的时问分辨光谱⋯⋯⋯⋯⋯⋯...煌す饽芰棵芏鹊谋冉稀等离子体和5壤胱犹逑嗷プ饔玫奶致邸氩气及氩气诺缙沼氲F暗F鳨放电气氛的比较⋯⋯⋯⋯⋯⋯.讨论与小结⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.第四章际踔票窧薄膜过程的光谱诊断⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.原子在不黄障率奔浞直嫣匦缘谋冉稀离子在不同气氛下时间分辨特性的比较⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.;‘●..;;........................................................................甀..,
∧⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯...煌障碌腜碳硼等离子体光谱⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯...煌恢孟碌腜碳硼等离子体光谱⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..寂鸬壤胱犹宥员尘捌盏募し⒆饔谩寂鸬壤胱犹宥訣氮等离子体的激发增强⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.寂鸬壤胱犹宥员尘捌占し⒆饔玫氖奔涮匦浴气相分子的形成⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯讨论与小结⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.总结和展望⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.参考文献⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..后记⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯致洹第五章●.一
脉冲激光烧蚀结合起来可以构成一种活性源辅助成膜方籼等离子体辅助脉冲激光烧蚀等离子体和诺绲壤胱犹相互作用的光谱研究摘要本论文的研究对象为对固体的脉冲激光烧蚀,微波放电产生的等离子体虺艵等离子体要通过等离子体发射光谱的测量分析来研究这两类等离子体及它们之间的相互分为两大部分:诺绲5壤胱犹搴图す馍帐绰涟胁腜铝等离子体及近年来,脉冲激光烧蚀在薄膜材料沉积、成分分析、材料加工处理等方面取磁光等各种特殊功能薄膜方面获得了直接而成功的应用。⒉ǚ诺缈梢栽低工作气压下产生电离度高、纯度高的等离子体。在⒉ǚ诺绾吐龀寮す脉冲激光沉积虺艵庖槐∧ぶ票阜椒ㄗ酆狭薊微波放电和脉信息、时空演变等特性进行了研究,重点分析讨论了两种等离子体相互间的能量转移和激发过程,并就此对椒ㄖ票父咧柿勘∧さ目赡芑谱鞒鎏等离子体通过5壤胱犹迨钡墓馄准傲秸叩氖笨昭荼涔媛桑冉险婵铡⒌方法制备高质量薄膜的可能机制作了探讨。观察发现:5壤胱犹宓墓馄在大量的原子和各价态离子的谱线。在时间飞行谱中,两者均呈现单峰特产生的等离子体虺芇等离子体投云宓牡缱踊匦舱作用,了解其特性和时空演变规律,也为相关的一些技术应用提供参考。内容可它们之间的相互作用;诺绲5壤胱犹搴图す馍帐碆靶产生的寂等离子体及它们之间的相互作用。得了成功的应用。例如,基于脉冲激光烧蚀的脉冲激光沉积,方法在制备半导体或绝缘薄膜、高温超导薄膜以及铁电、压电、烧蚀共同作用下引发的等离子体兼具壤胱犹搴蚉等离子体的特点,其独特的性质使得它在薄膜制备上可以获得独到的效果。例如把⒉ǚ诺绾冲激光沉积两种技术的特点,获得了许多成功的运用。本文针对椒在制备∧ず虰薄膜上的应用,运用光谱诊断法对两种等离子体的成分讨。本小组在5壤胱犹逯杏眉す馍帐绰涟小⒁訣氮等离子体辅助方法成功制备了高质量的∧ぃ疚慕岷险庖还ぷ鳎ü饬糠治鯬铝气扣诺绲5壤胱犹逯新猎印⒏骷厶晾胱雍蚇分子离子、分子光谱演变的异同,分析和探讨了这两种等离子体的相互激发