文档介绍：论文作者签名指导教师签名:签二翅』麴援』虫国让量堂院扬建义』麴援』逝江太堂值电丕周翌缰铡皇沤弥档缲江瞳渣』数援』逝江太堂值电丕周扭江』教攮』逝江太堂值电丕郝寅雷垣』教攫』逝江太堂值电丕答辩委员会主席:处二翅』教援』生
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亡纱涉静粼一繇乏彳们于籼一签癌仍唏一靴叩年石月夕日签字日期:年拢疍日浙江大学研究生学位论文独创性声明学位论文版权使用授权书签字日期:伊D表或撰写过的研究成果,也不包含为获得逝望盘堂或其他教育机构的学位或逝姿态堂构送交本论文的复印件和磁盘,允许论文被查阅和借阅。本人授权逝姿态堂本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。除了文中特别加以标注和致谢的地方外,论文中不包含其他人已经发证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示谢意。本学位论文作者完全了解有权保留并向国家有关部门或机可以将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索和传播,可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编学位论文。C艿难宦畚脑诮饷芎笫视帽臼谌ㄊ导师签名:
致谢光阴似箭,两年半的研究生生活马上就要结束。回首这两年半的求学生涯,实在有太多的人需要感谢。他们曾经帮助过我,关心过我,激励过我,鞭策过我。过往的一幕幕温暖的画面,实在难以忘怀,感激之情难以言喻。首先,我要感谢我的导师江晓清教授。从我进入实验室,开始攻读研究生的第一天开始,江老师不停地给予我指导与帮助,在我迷茫的时候给我建议,在我松懈的时候给我鞭策,在我失意的时候给我鼓励,在我骄傲的时候给我警言。对我写的每篇文章,他都帮我仔细审查,反复修改。甚至在他自己身体不适的时候,仍不忘指导我完成论文。教育之恩,永生难忘。感谢王明华教授,王老师的大家风范、气度与眼界深深地影响了我,在王老师身上我不仅学到了知识,还学到了做人的道理。感谢杨建义教授,杨老师学术渊博,为人风趣,在学习上严格要求学生,在生活上对学生亲切幽默,给人一种朝气蓬勃的感觉。感谢郝寅雷副教授、李锡华副教授、周强副教授、张国荣老师、朱月莲老师在我学习生活上的照顾与指导。感谢余辉博士、戚伟博士、赵勇博士、王皖君博士、陈献硕士在课题理论和实验上的指导和帮助。感谢李宇波博士、王帆博士、肖司淼博士、郑伟伟博士、周海峰博士、陈伟伟博士、徐超博士、贾文建硕士、李陈刚硕士、江舒杭硕士、王欢硕士在我学习和生活中提供的帮助。感谢国家重点基础研究发展计划项目对本工作的资助。
摘要光开关是光交换等系统中的关键器件。长期以来,人们提出了很多制作光开关的方法。其中全内反射光开关,以其数字响应、波长偏振不敏感,长度较短等特点得到了人们的普遍关注。同时硅基工艺在微电子领域非常成熟,被普遍用于微电子超大规模集成电路的制作过程中。如果能用硅基工艺来制作集成光电子器件,那么将会使集成光学在产业化的道理上迈进一大步。本文的工作是基于标准工艺和牧现谱餍〗孛娴娜诜瓷涔饪关。在试制过程中我们发现,传统的大截面的全内反射光开关的制作方法在小截面的全内反射光开关制作过程中会存在许多问题,主要是反射区上注入铝电极结构对光开关器件静态特性的严重影响以及热光效应对动态性能的影响等,并针对这问题开展研究和提出改进光开关结构。对金属电极对静态性能的影响与热光效应对动态性能的影响进行了定量的分析。分析表明,对于直接在脊波导上制作注入电极,由于金属电极的等效复折射率影响,使得全内反射光开关在不加电压的静态状态下存在一个固有的“静态镜面”,从而使光路发生偏转而不能从直通输出端口输出。如果为了消除这一现象而加大分叉角的话,这又将需要大的注入载流子浓度,这样由于严重的温升导致的热光效应作用,使得光开关性能降低。这些现象在大截面的全内反射光开关中影响不大,但是当截面较小时ǖ疾阈∮.穸,这些作用将严重影响器件性能,甚至使其不能正常工作。为了消除上述两点的影响,本文提出一种改进型的全内反射光开关的设计思路。该器件采用一次深刻蚀与一次浅刻蚀,从而屏蔽掉“静态镜面”的影响。同时,这种设计可以使得电极宽厚的限制性变小,从而可以通过加宽电极以实现较好的散热,减小热光效应的影响。关键词:集成光学,硅基工艺,全内反射光开关,热光效应