文档介绍：PECVD 工艺培训 PECVD PECVD 工艺培训工艺培训 PECVD 的原理目录目录目录 PECVD 的分类 PECVD 工艺参数的调整安全 PECVD 的作用 PECVD : Microwave Remote Plasma Enhance Chemical Vapour Deposition 微波间接等离子增强化学气相沉积定义定义定义等离子体:由于物质分子热运动加剧,相互间的碰撞就会使气体分子产生电离,这样物质就会变成自由运动并由相互作用的正离子、电子和中性粒子组成的混合物。 PECVD PECVD 的作用的作用在太阳电池表面沉积深蓝色减反膜-SiN 膜。其还具有卓越的抗氧化和绝缘性能,同时具有良好的阻挡钠离子、掩蔽金属和水蒸汽扩散的能力;它的化学稳定性也很好,除氢氟酸和热磷酸能缓慢腐蚀外,其它酸与它基本不起作用。除 SiN 膜外, TiO 2, SiO 2也可作为减反膜 PECVD PECVD 的作用的作用氮化硅颜色与厚度的对照表颜色厚度( nm )颜色厚度( nm )颜色厚度( nm ) 硅本色 0-20 很淡蓝色 100-110 蓝色 210-230 褐色 20-40 硅本色 110-120 蓝绿色 230-250 黄褐色 40-50 淡黄色 120-130 浅绿色 250-280 红色 55-73 黄色 130-150 橙黄色 280-300 深蓝色 73-77 橙黄色 150-180 红色 300-330 蓝色 77-93 红色 180-190 淡蓝色 93-100 深红色 190-210 PECVD PECVD 的作用的作用空气或玻璃 n 0 =1 or SiN 减反膜的最佳折射率 n 1为 硅n 2 = 在左图中示出了四分之一波长减反射膜的原理。从第二个界面返回到第一个界面的反射光与从第一个界面的反射光相位相差 180 度,所以前者在一定程度上抵消了后者。即n 1d 1=λ/4 PECVD PECVD 的作用的作用 PECVD PECVD 的作用的作用 PECVD PECVD 的作用的作用钝化太阳电池的受光面钝化膜(介质)的主要作用是保护半导体器件表面不受污染物质的影响, 半导体表面钝化可降低半导体表面态密度。 PECVD PECVD 的作用的作用钝化太阳电池的体内在 SiN 减反射膜中存在大量的 H, 在烧结过程中会钝化晶体内部悬挂键。