1 / 12
文档名称:

洁净室各项指标的检测方法.pdf

格式:pdf   页数:12页
下载后只包含 1 个 PDF 格式的文档,没有任何的图纸或源代码,查看文件列表

如果您已付费下载过本站文档,您可以点这里二次下载

分享

预览

洁净室各项指标的检测方法.pdf

上传人:s1188831 2016/6/6 文件大小:0 KB

下载得到文件列表

洁净室各项指标的检测方法.pdf

文档介绍

文档介绍:!"#$%&'()*+,-./0,12&3 !"()45678 9,:;<:='() >,?***@A() B, !C)2 D,EFGHI() J,KLMNOPQRST'(U V,WXYU)Z [,Q\\]Z^ _,`!ab)2 c,dCefghC() i,jC() i9,kl() i>,m?nopq?nrs)2 9,:;<:='() !" #$%&'()*+,-./0123456789:;-.<= >?$ !" #***@A*BCD tuv:=w);:= t:;xyz);:; 1E&FGHIJK !%&F-.%L MN2<OPQ3RST8UAVW<OPX3YZ [\(]^_`YZabEc)3dYefghi=ji$klmno3pq-. rs&!a& tE uvwD 2Exyz({z)|4}$ !&iK ~xyz({z) !"xyz({z)|4}3#F$%&'("$ #) '((*$+*,?- !3./'($01"&2$3n)*4 PDFcreatedwithpdfFactory trialversion {|\ !":;)2'}~/2 JGJ71-90 GB50073-2001 ~xyz !"xyz ~xyz !"xyz &i'(50 67( 68( 09::^_` ~/;z$"( &23n <6=2m,$>3n ?@/$>3n AB&2C 10 2(-D"$E) 5 2(-D"$E) F` GH #F IJKLi MiNG 1Eg@/>?#3q?O^20PQ 1-4 R - 2E?$>$$STU?@/ 5 R(100 R) - 3EVxyz'Wz,|4}$ !&iK Vxyz(Wz)|4}$ !XY& u1" t1Z[S1!&3./' ($01"&2$3n)*4 &i S1 \&]^ &i'(mn&2C$Li Vx yz |4 }$ ! &i u 1 _/to ` ab$cud3 qefgXYh ij3X%&D Q&/ku l cu!!& &i'($m nmno5o =;zpa$ >qi$7 SQ)rUs tUA$6 93=rUs tUAF?B /3 uuu vbwQ=r UstUAx ?B/5 uu vgbyb wD _/z{u3|&i'(l}~ !"$#'(3,$X%&'PS{3y bA(?@/200mm3)'(*?@/ &2=8 #'(T*+3, - '(&2C?.#/3 3&23 n)*+'z{u&2mn/0+, _/1{ u'(3g2"(*131 4l&i'($Xi&2CQ5T6u v@#|1u'(l}~ (*!" $7*133813oY9 &23 9 &2-.=!:~$Zv o313$T*>j&23&2$3 n)*+'1{u&2mn/0+, t 1 ;&/::^_ `<=t ! ><?;***@C $&D/5oE F$qiudD _/VY^_`$t3T6 t{GX5&HI&u3 5&JKLMN}) tO'(!7Ebw"/2u t yb$ud3P&/^_` tQU3=HI uRt "(o32AB&2C?B/6 2$>3n&23&GH #F&i82#3Y t'("$ #+Y tS' (*Xi!D _/VY7TUVL$t3XYT6UVL$ !st WX'RY !stWXgZ]r& !stWX,"r &UVLst'iLOS[)}O[t\U,3LR !D &ij&][?"^_`u3g&^abucd_`u3 ,e-.f&i"();zSy"2D &i g0 h9 =& #j.&cihi&jQ?C?&kl #Fj3kmn$!of&pq 9rK'`Sg*s,YtBurvD Mi wRS$r&!g@/8x$>?!3,?gO^20%Q PDFcreatedwithpdfFactory trialversion ykr&z!">?z !\U3?gO^>?z!${10%Q |}O8t$ !)8x>? !\U$?gO^>?!${15%D  :!)"#$%&' ( :!)"#$%&' 134lC2*4XiK ( :!6)* uv/mm }200 200-400 400-700 ~700 13 C 3 4 5 ~6 >,?***@A() B9%&$#$<&i|4}$S[U3!XY<P[g"[3Y#$ |4}OQ;z<$!:%&D 1E%&n' '1,S[U$&in'=|4(O$dYf)U.*+,*12D '2,=|4"(og-|4w.:/0$******@123j%&/4} Q$><D '3,&ut>=}O5Y;z%&$677S$X3&ut();zzX" 2D'4,d&!89$C6g:X/ 2E%&;<K '1,0.*d