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无尘室环境检测标准
目的
规范无尘室内环境检测方法及判定作业。
范围
适用于公司所有无尘室的环境检测作业。

无尘室管事部: 负责无尘室的定期检测及检测数据的统计分析,无尘室检测异常的提出。
生产部: 负责对无尘室的日常维护及保养。
机电部:负责无尘室高效及低效过滤网的更换及维修。
：负责无尘室的定期保养,新过滤网的请购。

无尘室落尘检测：
静态检测: 生产设备安装完毕,且正常运行但无人员工作状态下检测。
动态检测: 生产设备安装完毕正常运行,且工作人员正常工作状态下检测。
: 无尘室2次/周。作业面区域2次/周，FFU过滤网检测1次/年度，生产依据检测排查结果，开出工程需求申请单，请购滤网进行更换。注：CCM及三星专线无尘车间为每日点检。
，按每3m2最多只能容纳1人计算；比如：100m2的车间，最多只能容纳33人,
每天进入无尘车间人员需做清点及统计，并记录于《无尘室人数点检表》中，超出空间限制人
员数量时应由无尘室管理禁止及进入。(参考国标GB 50073-2001) 。
检测方式:
检测时使用采样量大于1L/min的光学粒子计数器。
()处进行检测。
。
检测异常处理：
灰尘度检测人员对检测结果进行判定，如检测结果超出标准，无尘室管理部开出《无尘室检测异常联络单》，要求产线和相关部门进行改善，改善后再进行生产。
检测方法要求：
： ISO 14644-1/2
NEBB Procedural Standard for Certified Testing of Cleanroom
1个立方英尺,取样时间为一分钟。
，. （靠近人员实际作业区域）
英寸上面
检测等级判定：
()。
依据FS-209E/GB50073-2001标准进行检测判定,即1ft的空间里面含有≥ 落尘的数量即为多少等级,也可依1m3空间来计算,换算公式为1 m3=1000L。
例: 现设备检测1min, ≥。即为: ≥=1ft空间内有870个≥。依标准判定无尘室等级为870级。
FS-209E标准的空气中悬浮粒子洁净度等级(ft & m3比对表)
等级标准
等级限制

5um
容积单位
容积单位
容积单位
容积单位
容积单位
m3
Ft3
m3
Ft3
m3
Ft3
m3
Ft3