文档介绍：华南理工大学
硕士学位论文
溶胶-凝胶法制备In<,2>O<,3>:Sn(ITO)透明导电氧化物薄膜的
研究
姓名:王敏
申请学位级别:硕士
专业:材料加工工程
指导教师:蒙继龙
20030501
摘要该骶驳缪趸锉∧び捎谄淝嫌乓斓墓獾缧阅苣捅还惴撼捎糜诟魇纸砉獾爨磐中,诺魏警垂波爨显示嚣、太瓣麓电漶、建筑甥纂壤玻璃、汽车、飞极用熙撑玻璃镶。照饕大辫慕、藤游斯度彩魄鞠鸯予诗算椒豹发袋,太鞭熊电懑黪广泛瘦用,城市裹麟建筑的增多,汽车用爨的增热,∧さ撵嗲罅拷ḿ本缭鲆伞D么□┎谗圄嚷式呤椭凉匮!0曜忍蛴鐸薄蒺簿鼗憩生产魏主要像《冬技术是磁控溅射法。由予磁控溅射法需要真空荣R约案呦A康腎靶材等麟因而造成∧ぞ采杀窘厢裕蘩薴薄簇酶避~步熊广应掰。薄膜制蠢工艺的改进怒降低生产成本的主要途径。魄较分辑众多的薄膜制番方法发现,溶胶一凝胶技术最能满足低碱本的生产要求。西藏本文对掰溶胶一激胶技术割备麴∧け苄辛讼到实姆旨а芯俊%的∧け苄辛吮缲判阅芊旨咎㈦讲粼屿嘣糽サ腎薄膜其有最好的光魄性熊,其方块电阻低于/口,可觅光联的遴鸶孛率大予%。分孝斤热凳理溢震对℃饔鸸庋启儆跋祗湃铮琁薄膜籀方块魄隰蘧蕊熬楚莲温度翡升高而不断减小;但楚∧さ耐干渎仕嫒却砦露鹊嫩苹史堑サ鞯谋浠在孓锻干渎势鹘桃桓鲶郴骸N闹谢古修对诓幌却﹄Π赍鮷孛下获褥静∧そ辛斯獾缧阅芊治觯⑾諭薄膜的方块电阻随潜热处理时间的延长显簧矮熬;薄膜的透瓣攀蘧蓉热怒淫霹阕懿延蕊童装下簿。霞照,零文试蠹膜的热处理时间不宜越过分钟。霹″к菜吁窠嵛确殖鞣⑾郑琁薄骥舔豫挎缝:缌⒎教炭蠓烊臁掺杂蓐。v侮R缮兆海眷泼黜笆O耓薄骥鹣裁流予主要爨源予”黠￡避谗醮w颕薄膜逃霉孛曩撼毫镳鼹察裁溪:璇莺热处联瀑瘴静癸态℃毂平均熬粒足寸增大,经糖鹣尺寸分奄范围燕小,黠粒的突整性增强,薄膜变霉舞细致戳;隧蛰热鲶鹫孵游静鼹长,℃髦锌司确盅亵湫〔仙だ透褡∧ぞЬ棍肷煞彀竟獭焚键谲:透明等电薄滕;∧ぃ轰阂荒悍ǎ恍∏鹕ぃ槐招阅本文用铟金属鞠结晶滔氯化锡。作为原褥料夜玻璃蘩体上涮备出了性麓优巽黪∧ぁN闹蟹咒許粼屿辔弼、ァァ并且睫滚热处理温度的升麓,∧さ淖钬蝗∠肖向1涞那魇啤摘要
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醋期:渺;年拢枷学位论文原创性声明华南理工大学学位论文版权使用授权书翻期:≯辍卧滦文网期:西咿多年拢稳外,本论文不包含任何其他个人或集体已经发表或撰写的成果作定,嚣意学梭保餐荠韵国家有关嫠或规梅送交论文的复印本人郑重声明:所呈交的论文是本人在导师的指导下独立进行研究所取得酶研究成集。除了文中特蘩翻以标注弓涞钠崛品。对本文的研究做出重疆贡献的个人和集体,均已在文中以明确方式标嗳。本入完全意识餮本声镑的法律后采国本人承担。作者签名:本学位论文作者党全了解学校有关保留、使用学位论文的规电子版,允许论文被查阅和借阅。本人授权华南理工大学可以将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索,可以采穰影印、缡鼙或扫接等复制手段保存和汇编本学位论文。保密豳,在年解密厨适用本授权书。本学位论文属于不保密舀。朐谝陨舷嘤Ψ娇蚰诖颉啊獭
第一章绪论透明导电氧化物薄膜的基本特性虺芓∧ぷ钤绯鱿衷薄膜,年代兴起了∧ぁS氪送保A擞呕∧さ男阅埽嗣怯挚7透明导电氧化物世纪初,年状沃瞥闪薈透明导电薄膜,从此引发了透明导电薄膜的研究和开发利用⋯。世纪年代先后出现了;。基的透明导电的新型多元化合物∧”。目前研究和应用最多的是掺锡的氧化铟—薄膜,简称∧ぁ∧さ难芯拷寡杆伲渲幸圆袈罿虺艫该鞯嫉绫∧ぷ钗M怀觥∧び捎诰哂懈叩绲悸省⒖杉馇该鞯扔帕嫉墓獾缣匦裕谥钊缙矫显示器、幕墙玻璃、太阳能电池、风挡玻璃等各种光电器件中得到了广泛的应用,尤其是平面液晶显示器,∧ひ丫晌F矫嬉壕允酒髦胁豢苫蛉钡耐该鞯缂∧さ闹票阜椒ê芏啵票副∧さ姆椒ǘ伎梢杂美粗票窽薄膜,如喷雾热分解法、磁控溅射法、真空蒸镀、化学气相反应法、溶胶一凝胶法等,其中磁控溅射法已经被用于∧さ纳桃祷R恢币岳矗嗣嵌荚诓欢系母慕鳷薄膜的制备技术,希望能够获得性能优异,薄膜生长温度低,能大面积均匀成膜∧な且恢旨韧该饔值嫉绲谋∧げ牧希导视τ玫腡薄膜必须要满足以薄膜的电导率要超过.~,这两方面的要求决定了∧げ牧喜坏S高的载流子浓度而且在可见光范围内应是透明的。但是,一般来说,透明就意味着材料的禁带宽度大笥杂傻缱由伲涣硪环矫妫绲悸矢叩牟牧嫌滞往自由电子多×”以上嗨朴诮鹗舻恼竦矗佣煌该鳌薄R虼耍∧げ牧铣司哂写蟮慕矶纫酝猓贡匦牒懈吲ǘ鹊牡闳毕莼蚨圆牧辖行过重掺杂,这些点缺陷和杂质原子作为施主产生大量的自由载流子从而使材料具有高的电导率D壳埃琓薄膜主要是夯;基三大体系,其了猄。、狪!!篠,、。!;等由多种