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文档介绍：芯片生产工艺流程（课件）
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精选课件
单晶拉制（1）
2
精选课件
单晶拉制（2）
3
精选课件
单晶拉制（3）
4
精选课件
单晶拉制（4）
5
精选课件
单晶拉制（5）
6
精选课件
环境和着装
7
精选课件
单项工艺-扩散(1)
卧式4炉管扩散/氧化炉
扩散/氧化进炉实景图
8
精选课件
单项工艺-扩散(2)
立式扩散/氧化炉
扩散/氧化进炉实景图
9
精选课件
单项工艺-扩散(3)
扩散工序作业现场
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精选课件