文档介绍：机械制造系统工程国家重点实验室微纳技术研究中心 1 国家自然科学基金委员会重大研究计划“纳米制造的基础研究”联合开发实验室微纳技术研究中心 2 “纳米制造的基础研究”联合开放实验室简介国家自然科学基金委员会支持的【纳米制造的基础研究】重大研究计划针对纳米精度制造、纳米尺度制造和跨尺度制造中的基础科学问题,探索制造过程中能量、运动与物质结构和性能间的作用机理与转换规律,建立纳米制造理论基础及工艺与装备原理。重大研究计划支持下的研究工作往往涉及多个学科及技术领域,需要使用价格昂贵的各类实验设备、软件和专业技能。国内纳米制造相关的研究机构在实验室软硬件资源上各具特色,但各单位仅依靠各自的软硬件资源升级、增购等方式来支持不断更新的纳米制造的研究任务,不是一条有效而经济的途径。因此,围绕该重大研究计划的实施,联合国内纳米制造研究相关的特色实验室资源、做到优势互补,形成制度性的开发共享运行机制,可有效支持本重大研究计划支持下各项目的研究工作,极大提高资助经费的效益,并促进各项研究的进展和深入。联合实验室为网络化、实体方式运行的联盟组织。联合实验室设轮值主任负责各成员实验室的日常运行、提交运行评估报告、负责组织本重大研究计划相关的实验技能交流、实验技术培训等活动、联合实验室在软硬件设施、实验技能、实验发现、实验知识等资源方面向本重大研究计划各类资助项目研究人员开放共享,有效支持本重大研究计划各类资助项目的实验研究工作的动态需求。联合实验室首批成员实验室 13 个, 共计开放及共享微纳加工及测试设备 190 余台套,价值约 4 亿元。在国家自然科学基金委员会及各成员实验室的大力支持下,联合实验室将努力为【纳米制造的基础研究】重大研究计划的研究深入开展提供重要支撑及促进作用。机械制造系统工程国家重点实验室微纳技术研究中心 3 机械制造系统工程国家重点实验室简介机械制造系统工程国家重点实验室依托于西安交通大学,是一个跨学科的实验室。 1995 年利用世界银行贷款建成,实验室占地面积约 4 万平方米的实验大楼已启用。主要支撑学科是西安交通大学的机械制造及自动化、系统工程和管理科学与工程学科三个国家重点学科。微纳研究中心实验室机械制造系统工程国家重点实验室的微纳研究中心实验室, 以微纳制造作为学科的前沿方向进行建设,形成了以微纳压印、 MEMS 传感器、生物微制造为特色的研究方向。实验室拥有洁净室 3000m 2 ,百万元以上精贵设备 10 余台, 30 万元以上中型设备 20 余台,企业级 MEMS 专业设计软件 Conventorware 一套。实验室的大中型设备在满足实验室自身科研需要的基础上对校内外开放服务,同时作为国家自然科学基金委员会重大研究计划“纳米制造的基础研究”联合开放实验室的主要成员,对该计划支持的各项目提供实验支持与试验费用方面的大幅优惠。研究方向与特色?微压印技术微压印光刻技术(Imprint Lithography) 技术将具有纳米图案的模板以机械力在涂布高分子光刻胶的硅基板上等比例复制的能力,其加工分辨率取决于模版图案极限尺寸(Critical Dimension) ,不受光学衍射极限的限制。微米压印技术目前已经能够实现特征尺寸为 5nm 结构复型,该技术将为纳米制造提供新的机遇,可应用于集成电路、生物医学产品、超高密度盘片、光学组件、有机电子学、分子电子学等广泛领域。? MEMS 与微型传感器技术系列耐高温特种 MEMS 压力传感器及集成传感器,集中解决航空、航天、兵器以及石油化工等领域测量技术中的耐高温、微型化、超高压、高过载以及集成化等关键技术问题。项目研究获得国家发明技术奖 1项、省部级科技进步一等奖 3 项,相关技术获得国家发明专利 20 余项。?超快激光微纳制造技术理论研究超快(飞秒、皮秒)激光与金属、半导体、绝缘体材料的相互作用机理,实验探索超快激光加工不同类型材料时的尺寸、形状、形貌特征及控制工艺方法,在此基础上开展以下几个方向的具体研究工作:超快激光无重铸层微深孔加工与修复;金属材料、光伏材料表面高效织构化技术;纳米尺度结构的超快激光制造技术。主要仪器设备Coventorware 析软具有完全集成的 MEMS 设计环境, 可完成版图设计,系统级仿真、结构有限元、微流体、静电力场分析等功能, 包含可复用的 IP 库,是目前最专业的 MEMS 商业软件之一。国家自然科学基金委员会重大研究计划“纳米制造的基础研究”联合开发实验室微纳技术研究中心 4 电子束光刻机设备型号: CABL-9000C 制造厂家: CRESTEC 日本仪器简介: 纳米光刻技术在微纳电子器件制作中起着关键作用, 而电子束光刻在纳米光刻技术制作中是最好的方法之一。日本 CRESTEC 公司为 21 世纪先进纳米科技提供尖端的电子