文档介绍：ZYGO干涉仪-使用说明
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主要测试步骤如下：
（ALIGN/VIEW），使监视器处于排列状态。扭动参考反射镜上方的调节旋钮，调整镜面方向，使得反射镜反射回的最亮光斑与十字分划线交点重合。完成后,按遥控器上的显示切换键（ALIGN/VIEW），使监视器处于浏览状态。。
，通过观察监视器调整晶体，使晶体垂直于测试光（监视器中晶体边缘清晰可见。）
Controls 对话框中的 Refractive index, 录入待测晶体的折射率（，如图二），按回车键确定。
图二
，在弹出的对话界面中点击Fringe
按钮,对话框中图像显示会进行更新，锁定并显示监视器中画面。使用鼠标标记晶体通光面宽度，在弹出的对话框中，录入晶体通光面宽度，按回车键确定。
Data按钮（如图三、四所示）, 在弹出的有动态图像的对话框中，首先从下部选项中选择晶体外形标定（例如正方形则选择square）。在动态图像中，使用鼠标准确标定待测晶体，要求标定范围不能超出晶体。并在动态图像上方无晶体的空间内，选择与待测晶体规格相近的区域，此区域将作为参考区域。
作业文件
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ZYGO干涉仪使用说明
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5
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图三
然后，点击下部选项中的BG Inc使该按钮变为BG EXC，锁定选择区，点击Define，定义Acq。之后点击Test，选择Unfill，去除最后标定的参考区域，
图四
点击Define，定义Test（晶体测试区域）。再点击Ref，选择Fill，添加最后标定的参考区域，点击Pick，然后用鼠标点击待测晶体区域边框，选择Unfill，去除晶体待测区域，点击Define，定义Ref（参考区域）。
，系统进行自动测算。当监视器中左下角出现Wedge sec（）时，即为晶体的平行度。测试完毕后关闭平行度测试操作界面，点击左上角X符号，退回到ZYGO主测试操作桌面。
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平面度测试
调整监视器遥控器上的显示切换键（ALIGN/VIEW），使监视器处于排列状态。移除标准参考反射镜面，将晶体放置到样品支架上，调整晶体方向，使其反射回的光斑与十字分划线交点重合。完成后，按监视器遥控器上的显示切换键，使监视器处于浏览状态。。
（如图五所示），在弹出的对话界面中点击Fringe按钮,对话框中图像显示会进行更新，锁定并显示监视器中画面。使用鼠标标记晶体通光面宽度，在弹出的对话框中，录入晶体通光面宽度，按回车键确定。
Data按钮（如图五所示）, 在弹出的有动态图像的对话框中，首先从下部选项中选择晶体外形标定（例如正方形则选择square）。在动态图像中，使用鼠标准确标定待测晶体，要求标定范围不能超出