文档介绍：. .
. ! .
作业文件
文件编号
ZYGO干预仪使用说明
版本/修订
页码
1/8
1目的
为了使员工正确熟悉的使用ZYGO干预仪。本文详细说明了如何使用ZYGO 干预仪来测试晶体的平行度、波前、平面度等指标。
2围
本文件涉及用ZYGO 干预仪检测平面元件的一般方法。
3 录取数据
在检验过程中将会生成以下记录：
〔保存文件名为*.Tif〕，在实时窗口上点击FILE-SAVE保存。
〔保存文件名为*.Dat〕，测试完成后点击SAVE DATE保存。
4 Zygo干预仪的定义
〔application〕
应用是ZYGO 干预仪中一系列功能的组合，保存为后缀名为“*.app〞的文件。不同的应用用于不同工程的测量。用于一般的平面和球面的测量，GPI- 用于柱面面形的测量，。
〔cateye〕
又称为标准镜的像。标准镜的出射光在焦点处被返回时出现的干预条纹，是透过干预仪的光线与和它对称的标准面之间的干预图形。

. .
. ! .
从标准镜出射的光在整个零件外表被原路反射回来与标准面的反射光发生干预产生的干预图形。包含待测零件的外表或波前信息，是面形检测的主要信息来源。

可以升降的平台，带有小倾角调节功能，一般用于放置平面元件。
模式
按下控制盒上的align/view 切换的2 个模式之一。align模式可以看到一个黑色固定的十字线和反射回干预仪的光点，一般用于零件对准，特点是视场较大。View 模式是按下控制盒上的align/view 切换的2 个模式之一，可以看到干预条纹，特点是放大率较高，但是视场较小。一般在align界面对准后在view界面观察条纹。
作业文件
文件编号
ZYGO干预仪使用说明
版本/修订
页码
2/8

干预仪上使用的参考外表，用于生成理想的平面、球面波，作为测量基准。

设定图像的长度基准，因为放大率不同或者屈光度不同，同样大小的干预图所代表的零件大小可能有很大的差异。设定长度基准的目的就是告诉干预仪图形中的一段长度相当于镜片中长度的多少，方便控制测量区域和设定掩膜。
掩膜〔mask〕
说明干预图中有效区域的工具。可以根据需要设定有效区域的形状、大小、位置，也可以从有效区域中挖去一局部不需要的。
. .
. ! .
5 职责
主要包括以下几个方面：
zygo干预仪使用和维护部门为品管部。品管部经理负责保证过程实施所需的培训及资源。
按照校准方案对设备定期检定。
指定的仪器使用者需保证使用过程按按照操作规程操作仪器。
定期对设备进展保养。
6 操作主要容.

依次开启ZYGO显示器电源，机箱控制面板上电源按钮：MASTER、MONITOR、AU*1、AU*2，以及干预仪主机箱右侧下方POWER。

进入Windows 后，*e 〔如图一〕操作软件，运行程序，进入ZYGO测试操作桌面。，如