文档介绍：风淋室作业规范
风淋室作业规范
风淋室作业规范
风淋室作业指导书
文件名称﹕ 风淋室作业规范
文件编号﹕
版 本﹕ A0
页 数﹕ 共3页，第１页
生效日期﹕
编制 / 日期 : 杨高飞
审核 / 日期 ： 张 凯
批准 / 日期 : 陈绍波
修 改 记 录
版本
更 改 内 容
更改人/日期
审核人/日期
A0
初次编制
风淋室作业规范
风淋室作业规范
风淋室作业规范
确保机器的正常运行。
2．适用范围
适用于SMＴ风淋。
３。主要职责
.
。由清洁工负责机器的表面清洁.
4。程序内容
4。1．1。进入SＭT净化车间必须由风淋通道进入，严禁所有人员由车间出口进入净化车间。
风淋室作业规范
风淋室作业规范
风淋室作业规范
4．1。2。更换防静电服、穿上防静电鞋后才可以进入风淋通道，任何人员未穿著防静电服禁止进入。
。进入风淋室后轻轻关上前门，双脚踩在粘垫上先去尘,然后停留在红外线感应开关的位置并
等待风淋。
4。1．4．风淋时双手举起转动3６0度.
４。***进入SＭT净化车间。
。6。进入风淋道如无风从各喷头吹出，请注意检查：
4。１。，如不亮则打开电源开关。
．,重新依次打开并关上前***.
４．１。.
。。
4．２风淋室的清洁及