文档介绍：摘 要
微束微区X荧光探针分析不确定度研究
摘 要
本论文选题源自 863 计划“资源环境技术领域”课题“高精度能谱探测仪
器研发”（课题编号：2012AA061803）和“航空物探异常快速查证新技术研
究”（工作项目编号：12**********）。
微束微区 X 荧光矿物探针是是近几年开发的针对地质普查中迫切需要获得
矿物成分而专门研发的新型地质找矿仪器。该矿物探针由微型 X 射线发生器和
X 射线透镜组成微束 X 射线源，以室温半导体为 X 射线探测器，以金相显微镜
和 CCD 相机组成可视化样品微动平台，采用全数字化射线能采集器及其相配套
的测量软件实现特征 X 射线谱的采集与分析，可在室内或者野外条件下实现对
显微矿物成分的多元素定性和定量分析任务。矿物探针的微区焦斑直径为(30-
55)um，无需对岩矿石样品进行切片、刨光、镀膜等处理，适合于岩矿石样品、
土壤样品、大气颗粒物样品、块状物料等样品的显晶或微晶矿物成分分析，分
析元素范围从硫（S）到铀（U）。
本文采用 A 类不确定度评定方法和 B 类不确定度评定方法，参考《中华人
-2012 测量不确定评定与表示》的要求，
开展微束微区 X 荧光矿物探针测量结果的不确定度研究，将有利于该仪器在地
质普查中推广应用。本文主要取得了以下研究成果：
X 荧光矿物探针的工作原理和工作流程，系统地分析了矿
物探针仪的 A 类不确定度和 B 类不确定度的来源，及其可能的影响因素
2．采用地球化学标准物质，初步建立了 Ti、Fe、Cr、Mn、Cu、Zn、Ca，
7 种元素的不确定度，其测量结果为
CTi (6341 299) g / g , k 2； CFe (66920 2688) g / g , k 2
CCr (138 41) g / g , k 2； CMn (999 156) g / g , k 2
CCu (171 30) g / g , k 2； CZn (225 28) g / g , k 2
CCa (20571 2821) g / g , k 2
3. 利用主成分分析得到了仪器在测量使用时最佳的测量条件：测量次数：7
次；测量时间：160s；焦斑大小：40um；管电压：30kV；测量管电流：1uA。
关键词：微束微区 X 荧光 不确定度
I
成都理工大学硕士学位论文
The uncertainty researches based on analysis of micro
beam micro area X fluorescence probe
Abstract
Micro beam and micro area X fluorescence probe is a novel geographical
mineral-detecting instrumentation that was developed recently for the urgent
demand of acquiring the mineral composition. This mineral probe combined
micro X-ray generator and X-ray lens as micro beam X-ray source, and it set
room-temperature semiconductor as X-ray detector, metallographic microscope
and CCD camera were chosen to the