文档介绍：密 级 无
分类 号ＴＭ ９３ ２
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Ｘ Ｉ ＡＮ ＴＥ Ｃ Ｈ Ｎ Ｏ ＬＯ Ｇ Ｉ ＣＡＬＵ Ｎ ＩＶＥＲ Ｓ Ｉ ＴＹ
硕 士 学 位 论 文
题 目 ： 小尺 寸真 空 测 试 技术研 究
作 者 ： 王 顺录
指导 教 师 ： 李 党娟 副 教授
工
申 请学位 学科 ： 武 器 系 统 与 运 用 程
２０ １ ８ 年 ５ 月 １ ８ 日
密 级 无
分类号 TM932
XI’AN TECHNOLOGICAL UNIVERSITY
硕士学位论文
题 目: 小尺寸真空测试技术研究
作者： 王顺录
指导教师： 李党娟 副教授
申请学位学科： 武器系统与运用工程
2018 年 5 月 30 日
小 尺寸真空测试技术研究
学 科 ： 武器 系 统 与运 用 工程
研 究生签字 ： 土Ｈ
指导 教师签字 ： 务曼４
摘 要
随着 化工 行业 以及产 品 工 艺 和 质 量的 不 断 发 展 ， 真 空技 术被 广 泛 的 应 用 在工 业 以 及 科
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，
学 研 究 中 ， 同 时 市场 对７ 品 的 质 量也 提 出 了 越 来 越 高 的 要求 这将 导 致真空 技 术也 相 应 的
一
得到 了 快速的 发 展 。 通过真 空测 量去 衡量真 空 的 大小 ， 真 空 测量 的 准 确性对 些 元器 件 能
否 正 常 工 作 具 有重 要 的 影响 。
在 现有 的 真空 测 量 方法 中 ， 大 多 数的 传感器 由 于体积过 大 、 测 量 范 围 不够 宽 或测 量精
。
度低等 不 能 被 广 泛 应用 本课题