文档介绍：C扩散炉结构简介
CONTENT
1、设备基础组成
2、炉体部分
3、Load station
4、Gas cabinate
5、控制及监控系统
基础组成—centrotherm
Centrotherm扩散炉机台主体由装载系统, TGA, 炉体部分和气源柜四部
分组成。其各部分功效以下:
: 用于将上料台上 石英舟及未扩散硅片送入炉内, 以及将扩散完成 硅片传送到上料台。
（Toxic Gas Exhaust）: 用于驱动炉门, 吸收在进舟和出舟过程中可能泄漏出来 有毒气体。
: 机台 关键
部分, 由五个炉体及相关 电
源系统和控制系统组成。
: 用于提供扩散
工艺过程所需 多种工艺气体,
以及将扩散过程中产生 尾气
经过酸排风系统排出。
炉体部分—centrotherm
炉体部位包含炉体, 控制柜和电源柜三个部分。
炉体部位包含五根炉管, 控制柜里面包含着负责工艺程序实施 CESAR电脑,CMS和温度控制器, 电源柜负责供给整个机台所需 动力电源。
控制柜
动力柜
炉体
控制柜
动力柜
CCC电脑放置处
动力柜
动力柜中 变压器
机体温度监控
CCC控制电脑与CMS
CCC控制电脑（ Cell Control Computer ）中包含用于创建和管理recipe 软件CCC-RM（Centrotherm Cell Control Recipe Manager）,用于对CESAR电脑进行集中控制。
CMS （central machine safety）, 错误监视单元, 用于监视炉内, 炉外, 炉体及电路 温度和冷却系统 工作情况, 并将结果显示在CMI电脑用户界面上。
CMS
CCC电脑
CESAR控制电脑
温度控制器
CESAR 控制电脑(每个炉管有一个):
其作用为: 创建或更改recipe, 定义recipe变量（工艺时间, 温度, 压力, 气流）, start, stop and cancel recipe, 数字控制温度, 控制气流, 装载机组参数设置, 与装卸系统进行通讯, 监视报警/中止情况（气流, 温度, 压力）, 经过级联控制器控制温度, 经过级联温度控制进行自动拉温, 存放一定数量 recipe, 统计用户定义 工艺数据, 对正在运行 工艺进行测试（实施工艺步骤, 更改变量, 设置/重置停止点等）
温度控制器（每个炉管有一个）:
采取REG97温度控制器, 硬件部分由controller, transducer, pulse skipping unit组成。
控制柜
动力柜
UPS电源
炉体
电力配置箱, 变压器
动力柜, 控制柜, 炉体与变压器分布
Spike TC
温度测量模块
Spike TC 供电
超温监控
CMS（机器安全系统）
冷却水管接口
冷却水管接口
Spike TC
炉体情况
接线柱