预对准机与机械手相对坐标系标定.pdf

文档介绍：第 期 机 械 设 计 与 制 造
年 月
预对准机 与机械 手相 对 坐标 系标 定
李学威 ，冯亚磊，张 鹏，栾显晔，张金果
沈阳新松机器人 自动化股份有限公 司，辽宁 沈 阳
摘 要 ：在对预对准机建模仿真 的基础上 ，根据 晶圆预对 准的误 差精度 分析结果 ，利用误差转化 的方法将 预对准机 自
身误差转化成预对准机与机械 手相 对坐标 系误差 ，从 而 实现预 对准机 自身与相对 坐标 系的综合标 定。针对预 对准机 与
机械手相 对坐标 系的标 定提 出了多种方法 ，并选取 了适用 于实际情 况的 方法进行 了标定 实验 ，验证 了方法 的有 效性 。
这种综合标 定方法弥补 了现有 实验条件的 不足 ，避免 了对不 易标定参数 的直接标 定 ，简化 了标定过程 ，提 高了设备初
始安装与调试的效率。
关键词 ：晶圆预对准机 ；晶圆传输机器人；建模仿真；标定方法 ；相对坐标系 ；误差补偿
中图分类号 ： 文献标 识码 ： 文章编号 ：———


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引言